Vaega faapitoa uma
CVD Silicon Carbide (SiC) fa'apipi'i

CVD Silicon Carbide (SiC) fa'apipi'i

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SiC Plate mo le ICP Etching
Lave etching plasma
SiC Plate mo le ICP Etching
Lave etching plasma

SiC Plate mo le ICP Etching


Semixlab's SiC Plate mo le ICP Etching ua fa'ainisinia fa'apitoa mo le fa'aogaina e fai ma fa'au'u wafer i le fa'agasologa o le etching plasma a le alamanuia LED. Faatasi ai ma le lelei tele o le vevela, maualuga le tetee atu i le plasma te'i, ma le maualuga maualuga o le vevela, o lenei oloa e mautinoa ai le mautu, saʻo, ma le leai o se faʻaletonu etching performance. Avanoa i le tele o lapopoa masani ma faʻapitoa e faʻafetaui ai manaoga faʻapitoa, Semixlab e ofoina atu le faʻatuatuaina lelei, vave tuʻuina atu, ma le faʻalagolagoina lagolago mo semiconductor polofesa. Fa'atalitali i lau fa'atalanoaga.

faʻamatalaga

Fa'aaliga Manaoga: Fa'atonuina mo Siosiomaga Plasma Manaomia

Ina ia faʻamalieina manaʻoga faʻapitoa o siosiomaga etching ICP, o le SiC plate e tatau ona i ai uiga autu nei:

● Amioga vevela lelei

O le SiC e matua'i maualuga le fa'avevelaina o le vevela, e sili atu nai lo mea masani e pei o le quartz po'o le alumina. O lona uiga e mafai ona fa'atautaia lelei le vevela na fa'atupuina i le taimi o le etching process mai le wafer, ma puipuia lelei le vevela i le lotoifale.

faamanuiaga: Fa'amautinoa le vevela tutusa i luga o le fa'ato'aga, e maua ai le loloto o le etch fa'atasi ma le fa'atonutonuina o le fua (CD), fa'aleleia atili le fua ma fa'aitiitia ai le mea'ai.

● Sili Plasma Tete'e Tete'e

I le siosiomaga plasma o le ICP etching, o le mea o le a feagai ma le maualuga-malosi ion pomu ma kemikolo corrosion o radicals saoloto galue. O le SiC e lelei tele le tete'e o le plasma, aemaise i kasa etching fluorine po'o le chlorine.

faamanuiaga: Faʻateleina le ola tautua o le wafer carrier, faʻaitiitia le suia o taimi ma taimi faʻaletonu, ma faʻaitiitia ai tau faʻaogaina ma faʻaleleia le faʻaogaina o meafaigaluega. I le taimi lava e tasi, o mea totino mautu e faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻaleagaina o vaega.

● Fa'avasegaina o le vevela mata'ina

Faʻatasi ma lona maualuga maualuga o le vevela ma le maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, e mafai e le SiC ona faʻamautu lelei le tutusa o le vevela i luga o le luga atoa. E taua tele lenei mea mo le togiina saʻo, aemaise lava mo mea maʻaleʻale e pei o le GaN.

faamanuiaga: Ia fa'amautinoa le fa'apipi'iina faifaipea mo masini ta'itasi, fa'aitiitia le fa'atinoina o suiga o masini, ma tu'uina atu le tulaga maualuga ma le fa'amaoni mo au oloa LED.

O nei fa'atinoga fa'atinoga e mana'omia mo le ausiaina o le toe fa'afo'iina ma le sa'o o le togitogiina i le gaosiga o le wafer LED.

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Aisea e Filifilia ai Semixlab: Fofo Fa'atulagaina. Tulaga Fa'atuatuaina

Filifilia Semixlab o lona uiga e te filifilia le faʻatinoga, faʻamaoni ma auaunaga faʻapitoa:

1. O lo'o maua le tele o fa'amatalaga, ma tu'uina atu auaunaga fa'apitoa:

Matou te iloa lelei o masini faʻapipiʻi ICP eseese ma faʻagasologa o loʻo i ai tulaga faʻapitoa mo le tele o le vaʻa, tulaga pu, ma le auala faʻapipiʻi. Semixlab o loʻo tuʻuina atu le tele o faʻamatalaga masani a SiC wafer carriers e faʻafetaui ai manaʻoga masani maketi.

Ae sili atu ona taua, matou te tuʻuina atu auaunaga faʻapitoa faʻapitoa. Pe e te mana'omia ni lapopo'a fa'apitoa, fa'ailoga lavelave, po'o le fa'asilisiliina o faiga fa'apitoa, e mafai e la matou 'au fa'ainisinia ona galulue fa'atasi ma oe e tu'uina atu fofo fa'apitoa. O lona uiga e mafai ona e maua se vaʻa e fetaui lelei ma au meafaigaluega ma faʻagasologa, faʻateleina le gaosiga lelei ma fua.

2. Tulaga Mausali & Vave Tiliva

O la matou faiga fa'atonutonu lelei e fa'amautinoaina le fa'atumauina i vaega uma, a'o fa'amautinoaina e le matou gaosiga lelei ma le fa'agaioia taimi ta'ita'i vave, fesoasoani ia te oe e fa'ataunu'u fa'asologa o gaosiga.

Trust Semixlab – Lau SiC Material Partner i Advanced Plasma Etching

Faatasi ai ma le tele o tausaga o le poto masani i le tautuaina o le semiconductor coating industry, Semixlab e tuʻufaʻatasia le loloto o tomai faʻapitoa, faʻagasologa faʻaonaponei, ma le auʻaunaga e taulaʻi atu i tagata e tuʻuina atu vaega e faʻaleleia ai le faʻamautuina o le faagasologa ma le lelei o oloa.

talosaga

Talosaga: Inisinia mo le ICP Etching i le LED Alamanuia

I le fa'agasologa o le gaosiga o le LED, ICP (Inductively Coupled Plasma) etching o se laasaga taua mo le ausiaina sa'o micro-patterning i semiconductor wafers. Ole Semixlab's SiC plate o lo'o galue e avea o se fa'amomoli fa'atauva'a fa'atuatuaina po'o se fa'amau i le taimi o le fa'agasologa o le ICP. O ana meafaitino malosi e mautinoa ai le mautu o le faagasologa e oo lava i lalo o tulaga ogaoga o le plasma, ma avea o se vaega taua mo le maualuga o le gaosiga, maualuga-tulaga tutusa laina gaosiga o LED.

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