8-inisi TaC Coated Air Float Tray mo SiC Epitaxy

O le 8-inisi TaC Coated Air Float Tray o se vaega taua tele i le tele-wafer SiC epitaxy faagasologa, ua mamanuina e lagolago ma felauaiga carbide wafers i le taimi o le tuputupu ae o le epitaxial. I le si'osi'omaga faigata o ogaumu SiC epitaxy, fata e tatau ona tetee atu i le maualuga o le vevela, kasa pala, ma le umi o taamilosaga. E ala i le tu'ufa'atasia o le CVD TaC fa'apipi'i fa'atasi ai ma mea fa'apipi'i graphite maualuga-mama, o lenei fata fa'afefete ea e fa'amautinoa ai le tumau maualuga, fa'amautu fa'amama, ma le fa'agasologa o le fa'agasologa—ma avea ai o se mea fa'apipi'i taua i le gaosiga o siC wafer maualuga.

Ⅰ. Tulaga Meafaitino ma Meatotino Faaletino

O le TaC Coated Air Float Tray e tuʻufaʻatasia mea faʻapitoa e ausia uma ai le malosi faʻainisinia ma kemisi faʻamalosi e manaʻomia ile semiconductor epitaxy:

●mea fa'apalapala: Susceptor graphite maualuga-mama (maalalo-maualalo mea eleelea, maualuga le vevela)

●Lava Puipuiga i luga: CVD TaC Coating (Tantalum Carbide) fa'aogaina e ala i le fa'aputuina o ausa vaila'au mo le tele o le ofuina ma le fa'afefeteina.

Meatotino Faaletino Autu:

TaC Coating mama: ≥ 99.99%

Malosi (HK): ~2000 HK

Lisi Liu: ~3,880 °C

Thermal Conductivity: Lelei tele, faʻamautinoaina le faʻamafanafanaina o fafie

Tete'e i Halogen Corrosion: Tulaga tulaga mautu i le chlorine-ma le fluorine-oa epitaxial siosiomaga

Malosi o Kafite Fa'avae: ~1.85–1.95 g/cm³

Galulue Vea: E oo atu i le 2,000 °C i totonu o siosiomaga pulea

O nei meatotino e fa'amautinoa ai e mafai e le TaC Coated Tray 8-inisi ona tatalia le umi o le epitaxial, a'o fa'aitiitia le fa'atupuina o mea iti ma le fa'ama'i.

Ⅱ. Galuega Autu ile SiC Epitaxy

O la matou 8-inisi TaC Coated Tray e taua tele i le semiconductor SiC epitaxy process e ala i le faia o ni galuega taua:

● Tufatufaina o le vevela: O le maualuga o le vevela o le graphite substrate ma le TaC coating e mautinoa ai le sili atu o le vevela ma le vevela tutusa i luga o siC wafers uma. E taua tele lenei tutusa mo le ausiaina o le mafiafia o le epitaxial layer mafiafia ma le morphology.

●Puipuiga Fa'asaga i Fa'ailoga ma Fa'aleaga: O le pa'u o le TaC e fa'agata fa'ama'i e puipuia lelei ai le ga'o o le kalafi mai le tali atu i kasa muamua, lea e mafai ona fa'aosoina ai ma fa'atupu ai le fa'aleagaina. O lenei puipuiga o le ki lea i le tausia o se siosiomaga mama ma faʻamautinoa le maualuga o fua o le wafer.

●Fa'asili ole Ola: O le pa'u umi o le TaC e matua fa'alauteleina ai le ola o le susceptor e ala i le puipuia o le graphite mai le ofuina ma le fa'aleagaina o vaila'au, fa'aitiitia le tele o suiga ma fa'aitiitia tau o galuega.

●Ea Fa'alele Fua: O le mamanu tulaga ese o le ea opeopea e fa'aitiitia ai le fa'afeso'ota'i fa'aletino i le va o le susceptor ma le potu, fa'aitiitia fe'ese'esea'iga ma puipuia ai le fa'atupuina o ni vaega e ono fa'aleagaina ai ma'i. O le mamanu lea e mafua ai ona lauiloa o le TaC Coated Air Float Tray.

Semixlab Fa'amanuiaga

I Semixlab, matou te alu i tua atu o oloa masani e tuʻuina atu fofo faʻapitoa e fetaui ma manaʻoga faʻapitoa o lau epitaxy process.

● Fa'apitoa: Matou te ofoina atu filifiliga faʻapitoa faʻapitoa, e aofia ai foliga eseese, lapopoa, ma le mafiafia o le ufiufi, ina ia fetaui lelei ma au faʻamatalaga faʻamaʻi ma mea e manaʻomia.

●Fa'atalanoaga Fa'apitoa Fa'apitoa: O la matou 'au o inisinia poto e tu'uina atu le lagolago fa'atekinisi loloto ma fa'atalanoaga, fesoasoani ia te oe e fa'amalieina lau fa'agaioiga ma tu'ufa'atasia a matou oloa i se tulaga lelei.

●Su'ega Fa'atosina a'o le'i utaina: O ipu uma TaC Coated e faia ni su'ega ogaoga a'o le'i auina atu. Matou te faʻamaonia lona faʻatinoga ma le faʻamaoni i lalo o le maualuga o le vevela ma i siʻosiʻomaga faʻamalosi faʻamalosi ina ia mautinoa o le a fetaui ma ou manaʻoga faigata.