Vaega graphite fanua vevela

O Vaega o le Thermal Field Graphite e fausia ai le fausaga faavae o le siosiomaga vevela i totonu o reactors epitaxial, lea e faʻamatalaina saʻo ai e le tutusa o le vevela le lelei o le tioata, le saʻo o le doping, ma le mafiafia o mea sese. I le Si ma le SiC epitaxy—lea e mafai ona sili atu le vevela o le faʻagaioiga i le 1600°C—o a matou faʻavevela isostatic graphite, susceptors, reflectors, ma insulation shields e faʻatuina ai se fanua vevela mautu ma tutusa e taua mo le tuputupu aʻe tutusa o le ata tifaga.

O nei vaega o loʻo gaosia e faʻaaogaina ai vasega graphite e matua mama tele ma e matua maualalo lava le faʻaleagaina o uʻamea e faʻamautinoa ai le itiiti o le gaosiga o vaega ma le tutusa lelei o le wafer-edge ma le ogatotonu-i-le-edge. Faʻatasi ai ma ufiufi SiC faʻapitoa ua mamanuina mo le teteʻe atu i le H₂, Cl₂, NH₃, ma mea e muamua atu i le hydrocarbon, o vaega graphite a Semixlab e tausia le tulaga lelei o le fausaga ma le lelei o le vevela e ala i taamilosaga umi, maualuga le vevela, ma faʻalauteleina ai le taimi i le va o le tausiga i faiga epitaxy faʻalava ma faʻatulagaina.

E ese mai i le epitaxy, o vaega o le graphite o le fanua vevela e iai sona sao taua i le fa'amafanafanaina o le vevela maualuga mo masini lautele-bandgap, aemaise lava SiC MOSFETs. O nei fa'aoga e mana'omia ai le mautu i le vevela e latalata i le 1700–1800°C i lalo o le ea e le gaoioi pe leai foi. O fa'avevela graphite fa'ainisinia a Semixlab, susceptor trays, ma insulation cylinders e fa'amautinoa ai le tutusa o le fa'aalia o le vevela i le wafer i le taimi o le fa'agaoioiga o le dopant, fa'avaeina ohmic contact, ma le toe fa'aleleia o mea sese. O a matou vaega e fa'aitiitia ai le fa'agasologa o le vevela e mafai ona mafua ai le aufana wafer, laina se'e, po'o le mamafa o le crystalline—e fa'aleagaina uma ai le fa'atinoga ma le fua o le masini. O le fanua vevela fa'aleleia atili e gaosia e fofo a Semixlab e fa'aleleia atili ai le lelei o le fa'agaoioiga o le dopant ma fa'aitiitia ai le te'i o le vevela, ma mafai ai ona toe faia ma pulea lelei faiga o le vevela maualuga.

Fanua vevela o le ogaumu tioata e tasi a Czochralski

I totonu o faiga RTP ma RTA, lea e tatau ai i wafers semiconductor ona faia ni taamilosaga fa'avevela ma fa'amālūlūina vave i le selau tikeri i le sekone, e tutusa lava le taua o vaega o le fanua fa'avevela sa'o. E ui o le RTP e fa'aaogaina muamua le fa'avevela e fa'avae i lamepa, o le fausaga fa'avevela i totonu—e masani ona aofia ai ata fa'ata o le graphite pyrolytic, lagolago graphite e maualalo le gassing, ma vaega puipuia fa'ainisinia—e fa'amatalaina ai le auala e o'o atu ai le malosiaga fa'avevela i le wafer.

O vaega o le graphite a le Semixlab ua mamanuina e fa'amautu ai le tufatufaina atu o le vevela, taofia ai aafiaga o pito i tua ma nofoaga vevela, ma lagolagoina ai suiga vave o le vevela e aunoa ma le pi'o po'o le fa'a'esea o le kasa. O lenei mea e fa'amautinoa ai le tutusa o le fa'agasologa mo la'asaga taua e pei o le fa'agaoioiga o le dopant, fa'avaeina o silicide, fa'amafanafanaina o feso'ota'iga papa'u tele, fa'aleleia atili o le fa'aputuga o faitoto'a, ma togafitiga fa'ainisinia o le fa'asolosolo i node CMOS fa'apitoa.

I nei faiga uma e fa'aogaina ai le vevela maualuga, o le Semixlab's Each Thermal Field Graphite Part ua mamanuina e fa'aleleia atili ai le tafe o le vevela, fa'aitiitia ai le fesuia'iga o le vevela, ma fa'agaoioia ma le fa'atuatuaina i lalo o le te'i fa'avevela faifai pea, kemisi fa'aleagaina, ma siosiomaga mama tele. O la matou faiga tu'ufa'atasi e fa'amautinoa ai le sa'o o le fua, le mama o le fogaeleele, ma le tutusa o le pipii o le ufiufi e fetaui pe sili atu i mana'oga o kamupani gaosi meafaigaluega semiconductor ta'imua. O lo'o fa'amoemoe moni lava Semixlab e avea ma au pa'aga tumau i Saina.