0200-35223 Mama Seramika

O le Mama Seramika AMAT 0200-35223 e aofia i le vaega o mama seramika semiconductor plasma chamber e masani ona tuʻufaʻatasia i totonu o faiga faʻapipiʻi ma faʻaputuga faʻapitoa. I lona fausaga, ua mamanuina o se vaega mama ua mamanuina ma le saʻo e tuʻu latalata i le vaega o le faʻagasologa o le wafer, e masani lava i tafatafa o le electrostatic chuck (ESC), le vaega o le plasma confinement, poʻo le chamber edge transition zone.

E ui ina laʻititi foliga, ae o lona sao i totonu o le potu e matuā tāua tele. I le taimi o le faʻagasologaina o le plasma, e feagai le vaega o le pito o le wafer ma ni fegalegaleaiga faigata i le va o fanua RF, ala o ion, ma le tufatufaina atu o le plasma density. A aunoa ma le fetuʻunaʻiga lelei o le potu, o nei fegalegaleaiga e mafai ona oʻo atu ai i le le mautu o le faʻagasologa, le tutusa o le foliga o le pito, ma le le tutusa o le etching poʻo le deposition.

O le mama seramika e galue o se feso'ota'iga fa'atino e pulea ai le plasma i le va o le wafer ma fausaga o le potu o lo'o siomia ai. E ala i le fa'aosofiaina o le tufatufaina atu o le eletise i le lotoifale ma le fa'amautuina o tulaga o le plasma e lata ane i le pito o le wafer, e fesoasoani e fa'aleleia atili ai le tutusa o le fa'agasologa o le potu ma le fua o le wafer.

Galuega Autū o le Mama Seramika 0200-35223

O se tasi o galuega taua a le 0200-35223 Ceramic Ring o le fa'atonutonuina lea o le pito o le plasma. I faiga fa'atekonolosi fa'atekonolosi fa'atekonolosi, o le mafiafia o le plasma e lata ane i le pito o le wafer e mafai ona a'afia tele ai le puleaina o le tele o vaega, le tutusa o le fa'asologa, ma le mautu atoa o le faiga. E fesoasoani le mama seramika e pulea le tufatufaina atu o le plasma e lata ane i le vaega o le pito, fa'aitiitia ai le fa'aletonu o le faiga ma fa'aleleia atili ai le tutusa o le wafer.

E fesoasoani fo'i le vaega i le fa'amautuina o le fanua RF i totonu o le potu. Talu ai ona e feso'ota'i vavalalata le amioga a le plasma ma le tufatufaina o le impedance ma le fausiaina o le sheath, o le geometry ma meatotino dielectric o le mama seramika e a'afia sa'o ai le tufatufaina o le malosiaga ion ma le lelei o le fa'apipi'iina o le plasma. O lenei mea e avea ai le mama seramika ma se vaega taua o le potu e fa'ainisinia e le RF nai lo se fausaga fa'ainisinia e le gaoioi.

O le isi galuega taua o le puipuiga o le potu. I le taimi o le fa'agaoioiga o le plasma maualuga, o puipui o le potu ma vaega lata ane e fa'aalia i le osofa'iga malosi o le ion ma le plasma reactive species. O le mama seramika e fai ma pa puipui, e fa'aitiitia ai le fa'aalia sa'o o le plasma i fausaga ma'ale'ale o le potu ma fesoasoani e fa'alauteleina le umi o le tautua o le masini.

E le gata i lea, o le mama seramika e lagolagoina ai fuafuaga fa'aitiitia o vaega i totonu o le potu. O keramika mama maualuga ma fa'auma lelei o luga e fesoasoani e fa'aitiitia ai lamatiaga o le fa'aleagaina e feso'ota'i ma le sputtering, ele, ma le outgassing, lea e taua tele i nodes semiconductor fa'aonaponei lea e fa'ateleina ai le fa'amalosia o le onosa'i i vaega.