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SiC tioata tuputupu ae mea mata
| Nofoaga o le Amataga: | ōmea |
| Igoa Brand: | Semixlab |
| Numera faataitaiga: | CVD SiC |
| Tusi Faamaonia: | ISO 9001 |
| Lafoga Faʻatonu Aupito Manaomia: | Ni nai kilokalama (lagolago le R & D tulaga fa'atauga laiti vaega) |
| tau: | Fa'asinomaga upusii i fa'amatalaga lagolago maualuga mama (≥99.9999%) poloaiga |
| Faʻamatalaga: | Fa'amau fa'amaufa'ailoga kasa le mama maualuga, fa'amau-fa'asusu ma fa'ama'i fa'ama'i alumini taga pepa alumini |
| Taimi Faaooina atu: | 7-15 aso (tulaga masani) / 20-30 aso (fa'asologa masani) |
| Tuutuuga totogi: | T/T (50% muamua, 50% a'o le'i tu'uina atu) |
| Gafatia Tuuina atu: | Gaosi masina 500kg, lagolagoina le mama maualuga (≥99.9999%) poloaiga |
faʻamatalaga
SiC tioata tuputupu aʻe mea mataʻutia o mea sili ona lata mai na atiaʻe e Semixlab. Ole vaega autu ole poloka CVD SiC. O le tulaga lelei o le SiC tioata tasi e tupu aʻe e lenei mea mataʻutia e sili ona lelei ma o loʻo i ai le tulaga maualuga i le alamanuia.
O oloa autu susulu
Fa'agasologa o sauniuniga fa'aletonu
Fa'aaogāina o pateni tuto'atasi le fa'aogaina o tekonolosi CVD (patent Nu. : ZL2024XXXXXXX), methyl trichlorosilane (MTS) e fai ma fa'amuamua, e ausia ai:
Mama> 99.9995% (GDMS su'esu'ega elemene atoa)
Nitrogen content ≤0.09ppm (leai se fa'amamāina fa'aopoopo)
Lapopo'a 4-10mm (auala fa'asalalauina e le tagata lava ia <2.5mm)
Fa'amanuiaga tuputupu a'e tioata
| limatusi | auala masani fa'asalalauina a le tagata lava ia SiC pa'u | Semixlab SiC tioata tuputupu ae mea mata |
| Ole tele ole microtubules e eseese | 103~ 104cm-2 | <300 cm-2 |
| Ole fua ole fa'aogaina o mea mata | 30% -40% | > 50% |
Puipuiga o le siosiomaga ma le tamaoaiga
E leai ni fa'aleagaga fa'aleaga: hydrochloric acid e mafai ona fa'au'u i le masima
Fa'aitiitiga tau o le 30% : mea mata methyltrichlorosilane o le vailaʻau sili a Saina
SiC tioata fa'atupuina fa'aoga SiC tioata tuputupu a'e mea mata
Faʻamatalaga Faʻamatalaga:
1. Isi igoa: CVD SiC poloka; SiC vaega.
2. Fa'aoga: Mea mata'utia mo le tuputupu a'e tioata tasi SiC.
3. Fa'asologa autu: Mama> 99.9995% (GDMS su'esu'ega elemene atoa), Nitrogen anotusi ≤0.09ppm (leai se fa'amamāina fa'aopoopo), Lapo'a lapo'a 4-10mm (auala fa'asalalauina masani <2.5mm).
auiliili
talosaga
Mea mata mo le tuputupu ae tioata tasi SiC.
Faʻamanuiaga Faʻamasino
1. O se manuia i le mama
Mama ≥99.9995% (GDMS suʻesuʻega elemene atoa). Nitrogen anotusi ≤0.09ppm na ausia e ala i vailaʻau faʻamama ausa (leai se faʻamamaina lona lua). Aemaise lava talafeagai mo semi-insulating SiC manaoga tuputupu ae tioata tasi.
2. Lapopo'a ma le fa'atumauina o le mamafa
Lapopo'a lapopo'a (4-10mm), fa'aleleia atili le gafatia o le utaina o le crucpot (sili atu i le 1.5kg mo le voluma tutusa), fa'aitiitia le fa'aletonu o le carbon encapsulation i le tuputupu a'e tioata.
3. O le tau fa'amanuiaga e taua tele
Fa'aitiitia le tau o meafaitino i le 30%.
O le fa'aaogaina o le methyltrichlorosilane (MTS) e fai ma fa'ata'ita'iga, o le tau o le fa'atauina o meafaitino e na'o le 1/3 o le fa'ata'ita'iga masani silica fume + graphite. Fa'aaogā mea mata'utia fua faatatau > 50% (fa'agasolo masani na'o le 30%-40%).
4. Puipuiga o le si'osi'omaga faiga tapuni tapuni
E leai se fa'aleaga.
Hydrochloric acid, o le mea e maua mai i le gaosiga, e maua ai masima le afaina e ala i le neutralization tali, aloese atoa mai faafitauli e tolu o otaota o togafitiga o faiga masani (pickling / otaota kesi tau togafitiga e sili atu i le 15%).
5. E oso le tulaga lelei tioata
Ole tele ole microtubules e <300 cm-2.
O le Si / C atom ratio o mea mataʻutia e latalata ile 1: 1 (faʻasesega auala masani> 5%), faʻaitiitia ai le faʻaogaina o le faʻamaʻi faʻamaʻi i le taimi o le tuputupu aʻe tioata. Ingot fua o le 85% -92% (65% -75% o oloa faatauva), faʻaitiitia ai le gau o le faʻatauina tioata tasi o tagata faʻatau i lalo.
