0200-10073 Mea Fa'amama Kuata 200mm

O le AMAT 0200-10073 Insulator Quartz 200mm o se vaega kuata ua fa'apipi'iina ma le sa'o, ua mamanuina e tu'uina atu ai le puipuiga eletise ma le mautu o le fausaga i totonu o masini fa'agasologa plasma semiconductor. E masani ona fa'aaogaina o se puipuiga cathode i totonu o faiga etch ma deposition 200mm.

O lenei vaega ua gaosia mai le kuata mama maualuga, ua mamanuina faapitoa e faagaoioia i siosiomaga faigata e aofia ai:

● Malosiaga RF maualuga-taimi

● Fa'aalia i le plasma malosi tele

● Kemisi o le faagasologa e tali atu ai (e pei o le fluorine, kasa chlorine)

● Tulaga vave o le taamilosaga o le vevela

E le pei o vaega masani o le kuata puipuia, o lenei mea e taofia ai le eletise e taua tele, e faʻamautinoa ai le mautu o le fesoʻotaʻiga RF ma puipuia ai auala eletise e leʻi mafaufauina i totonu o le potu.

I le Semixlab Technology, o le AMAT 0200-10073 e tutusa ma le AMAT 0200-10073 e gaosia i lalo o le pulega lelei ma le faaeteete ina ia ausia pe sili atu foi i tulaga faatonuina a le OEM, ma mautinoa ai le faatuatuaina ma le mafai ona toe faia o le faatinoga i le gaosiga o semiconductor fa'aonaponei.

Tulaga i Meafaigaluega ma le Matafaioi Faatino

Faʻapipiʻi tulaga

E masani ona fa'apipi'i le Quartz Insulator:

● Fa'ata'amilo pe i totonu o le fa'apotopotoga cathode pito i lalo

● Latalata i le electrostatic chuck (ESC)

● I le vaega o le eletise e fa'aaogaina e le RF i totonu o le potu

O loʻo i totonu o le sone autu o le gaosiga o le plasma ma le sone fegalegaleaiga RF, lea e taua ai le vavaeʻeseina o le eletise.

Galuega Taua

1. Vaevae Eletise (Galuega Autū)

O le vaega e galue o se pa puipui dielectric maualuga, e maua ai:

● Vaevaega i le va o eletise fa'aeletise ma fausaga o le potu

● Puipuiga o le tafe o le RF ma ala o le eletise e le'i fuafuaina

2. Fa'amautuina o le Fanua RF

I le tausia o tuaoi eletise ua fa'amalamalamaina, e fesoasoani le insulator:

● Fa'amautu le lelei o le fa'apipi'iina o le RF

● Tausia le tufatufaina tutusa o le mafiafia o le plasma

3. Fa'aleleia atili o le Mausali o le Plasma

E fesoasoani le insulator kuata i:

● Taofia fa'atonutonuina o le plasma

● Fa'aitiitia le pisa eletise ma le le mautu

Aogā: E sili atu le tutusa o le tufatufaina atu o le malosiaga o le ion ma le tutusa o taunuuga o le faagasologa.

4. Lagolago Fa'amekanika ma le Mausali o le Vevela

Faatasi ai ma lona fausaga fa'ata'amilomilo po'o le fausaga paipa, e maua ai fo'i e le vaega:

● Lagolago fausaga mo fa'apotopotoga cathode

● Tete'e lelei i le vevela i lalo o tulaga fa'avevela fa'asolosolo

Faiga Fa'aletonu masani

I le avea ai o se vaega taua o le eletise ma le plasma-faʻasaga, o le Quartz Insulator e mafai ona aʻafia i ni auala faʻaleagaina:

1. Fa'aleagaina o le Eletise

● O le fa'aleagaina o luga e mafua ai ni ala e tafe ai le eletise

● Fa'aitiitia le fa'atinoga o le dielectric i le aluga o taimi

A'afiaga: Lē mautu o le RF, tafega o le vai, po'o le fesuia'iga o le faagasologa.

2. Fa'aleagaina e mafua mai i le plasma

● O le osofa'iga o le ion e mafua ai ona ma'a'a le fogāeleele

● O le faasolosolo malie o le leiloa o meafaitino e suia ai le fausaga

A'afiaga: Suiga i le tufatufaina atu o le fanua eletise ma amioga a le plasma.

3. Fa'aleagaina o le 'Arc' (Fa'amamāina o le Eletise)

● O le eletise maualuga i le lotoifale e mafua ai le fa'a'ā'īina o le ea

● Mu pe pala le fogāeleele

A'afiaga: Ogaoga le fa'aleagaina ma le ono fa'aleagaina o le potu.

4. Fa'aleagaina o le Vevela

● Taamilosaga fa'avevela ma fa'amālūlū faifai pea

● E sosolo solo māvaevae laiti i le aluga o taimi

A'afiaga: Fa'aletonu o masini ma le taimi e le'i fa'amoemoeina e taofi ai.

5. Fa'atupuina o Masini

● E fa'asa'oloto e le kuata tuai ni vaega laiti

● O le faaleagaina o le fogāeleele e faateleina ai le lamatiaga o le faaleagaina

A'afiaga: Pa'ū o le fua ma fa'ateleina ai le le atoatoa.

Aiseā e Filifili ai le Tekonolosi a le Semixlab?

Faatasi ai ma le tomai loloto i meafaitino semiconductor ma vaega o le faagasologa, o le Semixlab Technology e tuʻuina atu ni fofo kuata maualuga e faʻapitoa mo siosiomaga plasma faigata:

✔ Kuata Mama Maualuga: Fa'aitiitia le fa'aleagaina ma fa'amautinoa le mautu o le fa'atinoga o le dielectric.

✔ Masini Sa'o: Fa'apalepale lelei mo le tutusa o le va o eletise ma le fetaui ma OEM.

✔ Togafitiga Fa'alelei o Luga: Fa'aitiitia le fa'atupuina o ni vaega ma fa'aleleia atili le fetaui lelei o le plasma.

✔ Fa'alauteleina o le Ola e Fa'aaogaina ai: Fa'aleleia le tumau i lalo o le RF ma le plasma, ma fa'aitiitia ai le tau o le umiaina (CoO).

✔ Fuafuaga e fetaui ma le OEM: Feso'ota'iga faigofie ma fa'avae AMAT e aunoa ma se fa'alavelave i le fa'agasologa.

O le AMAT 0200-10073 Insulator Quartz e faʻaaogaina lautele i:

● Mea Fa'aoga 200mm Etch Systems

● Faiga o le etching plasma (poly, dielectric, conductor etch)

● Potu CVD ma PVD e manaʻomia ai le RF insulation

E matuā tāua tele lava i le gaosiga tuai ma le gaosiga faapitoa o semiconductor, e aofia ai:

● Masini eletise (IGBT, SiC)

● Fausiaina o MEMS

● Gaosiga o faailoilo fa'a-analog ma fa'ailoilo fefiloi