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Puipui ma Pupuni Kuata Opaque Mama Maualuga mo le MOCVD
O vaega mama maualuga o le Opaque Quartz ua mamanuina mo faiga semiconductor MOCVD, e aofia ai mea taua e pei o Heat Shields ma Shutters sa'o. Fa'aaogaina se faiga tulaga ese i totonu o le micro-bubble scattering, o nei vaega e liua ai le radiation vevela i totonu o le radiation infrared mamao, e matua tutusa lelei, ma fa'aleleia atili ai le tutusa o le epitaxial layer. E ≥99.999% le mama ma le maualalo tele o le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela, latou te tu'uina atu le puipuiga sili atu o le vevela i le vevela e sili atu i le 1100℃ a'o fa'aitiitia le fa'aaogaina o le malosi ma puipuia le fa'aleagaina o u'amea—ma avea ai ma fofo lelei ma taugofie mo laina gaosiga tele.
faʻamatalaga
Fausaga Maiko: O le fausaga mafiafia o pupuni maiko e maua ai le faʻatinoga sili atu ona lelei o le faʻasalalauina o le vevela.
Opaque Quartz: O le "Pa puipui vevela tutusa" mo faiga o le MOCVD
O la matou High-Purity Fused Opaque Quartz e sili atu nai lo le mea masani o le quartz. E gaosia e ala i se faiga fa'apitoa o le fusion lea e fa'aofi ai le tele o micro-bubbles tutusa, fa'atasi ai ma le lautele e pulea lelei i le va o le 10-100µm. O nei bubbles o le fatu lea o le fa'atinoga fa'avevela tulaga ese o le mea:
● Fa'aliliuga o le Fa'asalalauina o le Infrared ma le Fa'aliliuga o le Infrared Mamao (FIR):
O le fa'asalalauga autū mai elemene fa'avevela a le MOCVD (e pei o filo tungsten po'o le graphite) e aofia ai le malamalama Near-Infrared (NIR). O le kuata manino e toetoe lava a mafai ona su'esu'eina e le NIR, e mafua ai ona fa'aputuina le vevela i le lotoifale ma "nofoaga vevela" i luga o le mea e fa'avae ai. O pupuni i totonu o le kuata e le manino e fa'afaigofieina ai le tele o fa'ata'ita'iga i totonu ma le fa'asalalauina, ma poloka lelei ai le ulufale sa'o atu o le NIR. O le vevela e mitiia ma toe fa'asalalauina o se fa'asalalauga tutusa o le Far-Infrared (FIR). O lenei liua e fa'amautinoa ai se fanua fa'avevela e matua tutusa lava i totonu o le potu MOCVD, lea e taua tele mo le ausiaina o vaega epitaxial e maualuga le tulaga lelei ma tutusa.
● Mama Maualuga ma le Maualalo o le Hydroxyl (OH):
Mo faiga fa'agasologa o semiconductor i luma, matou te pulea ma le fa'aeteete le mama o le SiO2 i le tulaga 5N (99.999%) ma fa'atumauina le aofa'i o le Hydroxyl (OH) i le < 5ppm. O lenei mea e fa'amautinoa ai i totonu o siosiomaga e maualuga le vacuum e sili atu i le 1000℃, e leai ni ion u'amea fa'aleagaina po'o le susu e fa'asa'olotoina, e puipuia ai le tulaga lelei o fausaga maaleale o vaieli quantum.
| tōtōga | Anotusi Masani (ppm) | Mauaina Faiga |
| Alumini (Al) | <15 | ICP-OES |
| Kalisiu (Ca) | <1.0 | ICP-OES |
| Uʻamea (Fe) | <0.5 | ICP-OES |
| Sodium (Na) | <1.0 | ICP-OES |
| Hydroxyl (OH) | <5 | FTIR |
| Mama Atoatoa | ≥99.999% | Fuafuaina |
talosaga
Fa'ata'ita'iga Fa'apitoa
O a matou vaega o le kuata e le manino e le na'o ni sui; o ni fofo ua fa'aleleia atili mo lu'itau fa'apitoa o le fa'agasologa o le vevela.
Tulaga A: Puipuiga o le Potu MOCVD mo Semiconductors Fa'aputu (GaN, SiC)
● Fa'alavelave Fa'afuase'i: I le taimi o le tuputupu a'e o le GaN po'o le SiC, o le maualuga o le vevela ma le tafe mai o mea e fa'a'ele'elea ai (e pei o le Ammonia NH3 ma le TMGa) e mafua ai ona tele ni mea e fa'aputu i luga o puipui taugata o potu ma masini fa'avevela graphite. O lenei mea e mafua ai ona tele taimi e taofia ai le Puipuiga o le Malosiaga (PM) ma fa'ateleina ai le Tau o le Puleaina (CoO).
● Tali: O le faʻaaogaina o le kuata mama e le mama e fai ma talita vevela (Chamber Liner) e maua ai se "vaega taulaga" taugofie. Aʻo aoina mai mea e teu ai, o lona puipuiga sili ona lelei e puipuia ai puipui o le potu uʻamea e le gaoia, ma faʻalauteleina ai le taamilosaga PM e sili atu i le 30%.
Tulaga B: Puleaina o le Fesootaiga i Fausaga o le Multi-Quantum Well (MQW)
● Fa'afitauli: O le fausiaina o fausaga manifinifi o le MQW mo LED po'o lasers e mana'omia ai le sa'o o le atomic i le fesuia'iga o le precursor gas. So'o se fa'aletonu o le vevela po'o le fa'atuai fa'amekanika i le Shutter e mafua ai le "Fa'alauteleina o le Interface," e matua fa'aitiitia ai le fa'atinoga optoelectronic a le masini.
● Tali: O a matou Pupuni Fa'apitoa o le Kuata e fa'aogaina le fua fa'atatau maualalo tele o le fa'alauteleina o le vevela o le kuata opaque. O lenei mea e fa'amautinoa ai le lamolemole atoatoa ma le mautu o le fausaga i le taimi o le fesuia'iga vave ma le vave o le fa'asolosolo o le vevela, ma mafai ai ona "Pulea le Atomic Layer" moni.
