Aiseā e Tuʻuina Atu ai e Papa Lagolago Pedestal Ufiufi TaC le Tumau Sili i le Plasma i Faiga Malosi Maualuga

I faiga fa'agasologa plasma e maualuga le malosi, o vaega i totonu o le potu e ui atu i ni tulaga faigata tele. O papa lagolago pedestal e taofia ai le wafers i le nofoaga sa'o, o lea a vave ona pala e mafai ona mafua ai ni taunuuga le tutusa, fa'aleagaina, ma taugata le taimi e fa'agata ai. O papa lagolago pedestal ua ufiufiina i le TaC e fesoasoani e foia lenei fa'afitauli. O latou foliga malolosi ma tete'e i vaila'au e umi atu le tumau i siosiomaga plasma faigata nai lo mea masani. O le iloa o le auala e galue ai nei ufiufi e fesoasoani i inisinia ma tagata tomai faapitoa e fa'aauau pea ona sologa lelei ma fa'atuatuaina a latou faiga.

E fa'apefea ona fa'aleleia e le TaC Coating le mautu o le vevela ma le plasma

O papa lagolago o pedestal e faʻaaogaina i totonu o potu plasma e galue i siosiomaga e matua ogaoga lava lea e aʻafia ai i latou e ions malosi tele, faʻaalia i kasa tali atu, ma faʻavevela i le vevela maualuga tele mo se taimi umi. I le aluga o taimi, o nei tulaga faigata e mafai ona faʻaleagaina ai papa e faia mai mea masani, e oʻo atu ai i le soloia, māvaevae, ma le ofuina o luga e aʻafia ai le faʻagasologa o le wafer ma faʻateleina ai le taimi e le toe faʻaaogaina ai. TaC fa'apipi'i E fa'aleleia atili ai le tumau o nei papatusi e ala i le faia o se fogāeleele malosi ma tete'e atu i le vevela e puipuia ai le mea autu. O se tasi o tulaga lelei autu o le TaC o lona mautu lelei tele i le vevela, lea e mafai ai e le papatusi ona taulimaina le vevela vave ma le malulu e aunoa ma le pi'o po'o le māvaevae. E taua tele lenei mautu aua e o'o lava i ni suiga laiti i foliga e mafai ona a'afia ai le fa'atulagaina o le wafer, le tutusa o le fa'agasologa, ma le tulaga lelei atoa o oloa. E maua fo'i e le TaC le tete'e malosi e fa'asaga i osofa'iga a le plasma. O ions ma radicals e tali atu e masani ona 'aina mea e le'i puipuia e poloka e le vaega TaC, lea e fesoasoani e puipuia ai le soloia ma fa'aitiitia ai le gaosiga o vaega e ono fa'aleagaina ai wafers. Ona o lenei puipuiga, e mana'omia e papatusi ua ufiufiina i le TaC le fa'amamaina ma le suia soo, e sefe ai le taimi ma tau o le fa'agaioiga. I siosiomaga moni o gaosiga semiconductor, o nei papatusi ua ufiufiina ua fa'aalia ai le umi o le ola tautua ma le fa'atinoga sili atu ona mautu e tusa lava pe i lalo o le malosi maualuga ma tulaga faigata o le fa'agasologa. I le aotelega, o papatusi lagolago pedestal ua ufiufiina i le TaC e fesoasoani e fa'atumauina le fa'agasologa tutusa, fa'aitiitia mana'oga tausiga, ma lagolagoina le gaosiga sili atu ona sologa lelei ma sili atu ona fa'atuatuaina i faiga plasma maualuga le malosi.

Fa'aoga Autū o Fausaga Ufiufi TaC i Potu Etching ma Deposition

O fausaga ua ufiufi i le TaC e pei o papatusi lagolago, laina, ma talita e matua taua tele i totonu o potu eli ma potu teuina ona o nei siosiomaga e matua faigata lava. O vaega e faʻaalia i le plasma malosi, vevela maualuga tele, ma kasa tali atu e mafai ona vave faʻaleagaina ai vaega uʻamea poʻo vaega seramika e leʻi puipuia. A pala vaega, e mafai ona latou faia ni vaega, vevela le tutusa, pe leiloa le mautu, o nei mea uma e faʻaitiitia ai le lelei o le wafer ma faʻagesegese ai le gaosiga. I totonu o potu eli, o papatusi ua ufiufi i le TaC e fesoasoani e tausia le tutusa o le plasma e ala i le teteʻe atu i le osofaʻiga a le ion lea e masani ona faʻaleagaina ai le fogāeleele. E fesoasoani lea e puipuia ai le fausiaina o vaega ma le tufatufaina atu o le malosi e le tutusa, lea e taua tele mo le mamanu saʻo o le nanoscale. O le iʻuga, o wafers e sili atu ona tutusa ma e mafai ona faia le tausiga e le tele ni taimi. I totonu o potu teuina e faʻaaogaina mo faiga e pei o le CVD poʻo le ALD, TaC coatings puipuia papatusi mai osofaiga a vailaʻau ma faʻaleagaina i le vevela. O lenei mea e mafai ai e papatusi ona tumau le mautu i taimi umi ma suiga vave o le vevela, e fesoasoani ai i ata manifinifi e tuputupu aʻe tutusa i luga o le wafer. E tele kamupani gaosi oloa e lipotia mai o vaega ua ufiufi i le TaC e umi atu le tumau, e itiiti ni fetuunaiga e manaʻomia, ma e tumau le mama i le taimi o le faʻagaioiga. I le aotelega, o le tuʻufaʻatasiga o le mautu o le vevela, teteʻe atu i le plasma, ma le tumau o vailaʻau e avea ai vaega ua ufiufi i le TaC ma se filifiliga faʻatuatuaina mo le tausia o faiga mautu, faʻaitiitia le taimi e le toe faʻaaogaina, ma lagolagoina le gaosiga o le wafer maualuga.