TaC Coated LED epi susceptor

TaC coated LED epi susceptor faʻaaogaina le maualuga o le mama tantalum carbide (TaC) tekonolosi faʻapipiʻi, lea e faʻapitoa mo le MOCVD (metal organic chemical vapor deposition) meafaigaluega ma talafeagai mo le maualuga o le vevela faʻagasologa o le faʻaogaina o le epitaxial wafers. O le oloa o loʻo i ai le maualuga maualuga o le teteʻeina o le vevela, teteʻe o le corrosion ma le faʻamautuina o le vevela, lea e mafai ona faʻaitiitia ai le filogia ma le faʻamaligiina o vaega, ma faʻalauteleina le ola tautua. O se filifiliga lelei mo le faʻaleleia atili o le gaosiga o le epitaxial wafer ma le gaosiga lelei.

talosaga:

TaC coated LED epi susceptor ua mamanuina faapitoa mo masini MOCVD ma e masani ona faʻaaogaina i le gaosiga o le epitaxial wafer, aemaise lava mo le tuputupu aʻe o le gallium nitride (GaN) -faʻavae lanumoana ma ultraviolet. E mafai foi ona ausia manaoga gaosiga o masini semiconductor eletise SiC / GaN ma e talafeagai mo CVD maualuga-vevela, MBE ma isi faʻataʻitaʻiga faʻapipiʻi mea i totonu o suʻesuʻega faasaienisi.

Au'aunaga e mafai ona tu'uina atu:

su'esu'ega fa'ata'ita'iga a tagata fa'atau, mea fa'atusa, fa'afitauli fa'atekinisi.

Faʻamatalaga o le kamupani:

Semixlab ei ai 2 fale suʻesuʻe, o se vaega o tagata atamamai ma 20 tausaga o meafaitino poto masani, faʻatasi ai ma le R&D ma le gaosiga, suʻega ma faʻamaoniga gafatia.

le faataamilosaga Technical

Avanoa autu o talosaga

Fa'amaoniga ole filifili ole si'osi'omaga

Semixlab TaC coated LED epi susceptor's ecological chain verification e aofia ai mea mataʻutia i le gaosiga, ua pasia faʻamaonia tulaga faʻavaomalo, ma o loʻo i ai le tele o tekonolosi pateni e faʻamautinoa ai lona faʻamaoni ma le faʻaauau i totonu o le semiconductor ma malosiaga fou.

Fa'asologa masani o talosaga

Sauniuniga o Mea Matagofie (Su'esu'ega o le graphite maualuga-mama) → Fa'ameamea (Isostatic pressing) → TaC Coating Process (CVD deposition) → Post-Processing (Precision polishing) → Su'esu'ega Lelei → Fa'apipi'i & Tu'u atu

A'o fa'atupula'ia fa'atekonolosi LED i la'ititi la'ititi ma maualuga le sa'o e pei ole Mini LED ma Micro LED, o le mautu ma le fa'atonuga ole fa'atonuga ole masini MOCVD ua fa'atupula'ia maualuga. O le faʻalauiloaina o le TaC coated LED epi susceptor e le gata e mafai ona faʻaleleia atili le lelei o le gaosiga o loʻo iai nei, ae faʻapea foʻi ona tuʻuina atu se faʻavaega sili atu ona faʻatuatuaina mo le isi augatupulaga o faʻaaliga tekonolosi.

Mo faʻamatalaga faʻapitoa faʻapitoa, pepa paʻepaʻe, poʻo faʻataʻitaʻiga faʻataʻitaʻiga faʻataʻitaʻiga, faʻamolemole faʻafesoʻotaʻi le matou Technical Support Team e suʻesuʻe pe faʻafefea e Semixlab ona faʻaleleia lau gaioiga lelei.

Semixlab TaC fa'apipi'i LED epi susceptor manuia autu

Super maualuga le vevela tetee

TaC-coated LED epitaxial susceptors e faia i mea tantalum carbide maualuga mama, lea e mafai ona galue mausali mo se taimi umi i siosiomaga vevela maualuga i luga atu o le 1200 ° C. E oʻo lava i lalo o le vevela tulaga maualuga o le MOCVD faagasologa, o le a le taʻe pe paʻu ese le ufiufi, faʻamautinoaina le tutusa ma le tutusa o le faagasologa o le tuputupu aʻe o le epitaxial ma faʻaleleia lelei le gaosiga o oloa.

Tetee pala lelei tele

I le taimi o le gaosiga o le gaosiga o le epitaxial wafers, o le susceptor e manaʻomia ona faʻaalia i siosiomaga kesi pala e pei ole H2 ma le NH3 mo se taimi umi. O le taC coating o loʻo i ai le malosi tele o vailaʻau ma e mafai ona faʻamalosia lelei le faʻaleagaina o le kesi ma aloese mai mea leaga e mafua mai i le faʻamaʻiina poʻo le tali atu, ma faʻamautinoa ai le mama ma le optoelectronic faʻatinoga o le epitaxial wafer.

Deformation vevela maualalo

O le fa'alauteleina o le vevela o le taC coating e matua fetaui lelei ma le mea o le graphite substrate, ma e mafai e le susceptor ona fa'amauina le maualalo o le vevela o le vevela e o'o lava i le vave o le vevela ma le pa'ū. O lenei vaega e mafai ona matua faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻafefe o le epitaxial wafer warping, faʻamautinoa le tuputupu aʻe tutusa o le epitaxial layer, ma faʻaleleia le tutusa o oloa.

Fa'ai'uga maualuga

O le susceptor surface e saʻo lelei, faʻatasi ai ma le faʻafefeteina o loʻo pulea i lalo ole 0.5μm, faʻaitiitia lelei le fua o le faaletonu i le tuputupu aʻe o le epitaxial. O le lamolemole lamolemole e mafai foi ona faʻaitiitia ai le pipii i le va o le epitaxial wafer ma le susceptor, faʻafaigofie ona aveese le wafer ma faʻaitiitia ai le lamatiaga o le gau.

Umi ola umi

Pe a faatusatusa i susceptors graphite masani, TaC coating e sili atu ona ofuina le teteʻe ma corrosion teteʻe, ma o lona soifua auaunaga e mafai ona faateleina e sili atu i le 3 taimi. O lenei mea e le gata ina faʻaitiitia ai le tele o mea e faʻaaogaina, ae faʻaitiitia ai foʻi suiga o le faagasologa e mafua mai i le matua o le susceptor, lea e mafai ona faʻaitiitia ai tau o gaosiga i le taimi umi.