Mea fa'aoga mama quartz AMAT

Semixlab e maua ai le mama quartz maualuga maualuga. O lenei oloa e masani ona faʻaaogaina e faʻamautinoa ai le faʻamautu o ata tifaga maualuga i le faagasologa o le PECVD, aʻo faʻateleina le lelei o le gaosiga o meafaigaluega ma le gaosiga o wafers. O le tufatufaina atu o le plasma o loʻo faʻatapulaʻaina e le saʻo o le geometric (± 0.1mm), o le gaioiga faʻafefe o le kasa o loʻo faʻaleleia, ma faʻaleleia le tutusa o le ata i le σ≤1.5%. O le adsorption process by-products ua fa'aitiitia ai le fa'aletonu o le wafer e 30%.

Faʻamatalaga Faʻamatalaga:

Igoa faaigoa: Mama Quartz, Si wafer carrier, Quartz Ring Kit, Quartz Ring Kit, Upper Chamber Ring, PECVD Deposition Ring, Gas Distribution Ring

faamoemoega: Faʻamautinoa le faʻamautuina o le faʻapipiʻiina o ata sili ona lelei i le faagasologa o le PECVD, aʻo faʻateleina le gaosiga lelei o meafaigaluega ma le gaosiga o wafers.

Fa'ailoga autu: E sili ona fautuaina mo SiN (silicon nitride) faʻagasologa faʻapipiʻi, quartz maualuga-mama, ma auaunaga faʻapipiʻi faʻapitoa e mafai ona tuʻuina atu. E mafai ona tatalia le maualuga o le vevela o le 300 i le 400 ℃ +, tetee atu i le tafia o le plasma, ma le quartz mama ≥99.99%, mea eleelea uamea i lalo ifo o le 5ppm, bubble / inclusion diameter ≤0.1mm, ma le numera ≤3 i le kupita senitimita

Galuega autu ma matafaioi:

●O vaega autu o le potu: O loʻo i totonu o le potu faʻagasologa o le PECVD, latou te fausia se tuaoi taua o le vaega o tali.

●maualuga-vevela ma plasma tetee: Faia i le Quartz mama maualuga, e fa'aalia ai le maualuga o le vevela (o le PECVD process temperature e masani lava i totonu o le va o le 300°C i le 400°C+) ma le tetee atu i le tafia o le plasma.

●Fa'a'ese'ese eletise/fa'a'ese'ese: E iai sona sao taua i le fa'aogaina o le eletise i totonu o le potu, fa'amautinoaina le fa'atupuina mautu o le plasma ma le fa'agasologa tutusa.

●Fa'agasologa kesi fa'amaufa'ailoga:Fesoasoani i le fa'amauina o le fa'amaufa'ailogaina o le si'osi'omaga kesi fa'agasologa i totonu o le potu.

●O le faʻamatalaga o le siʻosiʻomaga faʻagasologa o le wafer: O lona geometry ma le tulaga i luga e aafia tonu ai le tufatufaina atu o le kesi ma le plasma i luga ae o le wafer, lea e taua tele mo le tutusa ma le lelei o le teuina o ata manifinifi.

●Lulu fa'alavalava: O nisi mama quartz o loʻo faʻaaogaina i faiga faʻapitoa (pei o le SiN) e mafai ona faʻapipiʻiina i faʻamalo faapitoa (e pei o le yttrium oxide Yttria) e faʻaitiitia ai le faʻaogaina o oloa poʻo le faʻaleleia o le faʻatinoga ma le ola tautua i lalo o faiga faʻapitoa.

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