Ogaumu Fa'avevela o le Graphite Isostatic Mama Maualuga

I le Semixlab, matou te mamanuina ma tuʻuina atu ni Faʻavevela Isostatic Graphite Mama Maualuga ua mamanuina mo faiga faʻavevela faʻapitoa o semiconductor lea e taua tele ai le tutusa o le vevela, le mama o meafaitino, ma le mautu i se taimi umi. O loʻo fausia i luga o le graphite isostatic grain ultra-fine ma faʻaleleia atili i tekinolosi ufiufi faʻapitoa, o a matou faʻavevela e tuʻuina atu ai le faʻatinoga tutusa i siosiomaga faigata e pei o le SiC epitaxy, diffusion, MOCVD, ma le faʻagasologa o le vevela maualuga i le vacuum.

Aogā Autū o le Isostatic Graphite

1. Fausaga Atoatoa e Fa'asolo (X = Y = Z)

E le pei o le graphite ua mamanuina pe ua fa'aosoina, o le graphite isostatic e fa'aalia ai le fa'alauteleina tutusa o le vevela i itu uma, ma fa'amautinoa ai:

● Fa'asologa o le vevela mautu

● Fa'aitiitia le atuatuvalega vevela

● Fa'aitiitia le fa'aleagaina i lalo o avega fa'ata'amilosaga

2. Tuputupu A'e o Partikeli e Matuā Maualalo

O fausaga laiti e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le fogaeleele, ma avea ai ma mea lelei tele mo siosiomaga semiconductor e mama.

3. Tete'e Sili i le Te'i Fa'avevela

O le vave o le fa'avevela ma le fa'amālūlūina e lē mafua ai le māvaevae pe fa'aleagaina o le fausaga.

4. Maualuga le Fa'amaoni Fa'amekanika

O le maualuga o le mafiafia ma le tufatufaina tutusa o pu e faʻaleleia atili ai le tumau mo se taimi umi i le faʻaauau pea ona faʻaaogaina.

5. Puleaina o le Mama o le Vasega Semiconductor

O le fa'amamāina lelei o le halogen e aveese ai mea leaga uamea (Fe, Ni, Ca, Na), ma puipuia ai le fa'aleagaina o le wafer.

Matafaioi a le Graphite Heater i le Gaosiga o Semiconductor

I le Semixlab, o a matou fa'avevela graphite isostatic ua mamanuina e avea o ni vaega autu o le fanua fa'avevela i masini semiconductor fa'aonaponei.

Talosaga Autu:

1. Tuputupu Aʻe o le Crystal Silicon Carbide (SiC) (Faiga PVT)

● E maua ai se siosiomaga mautu i le vevela maualuga (>2000°C)

● Tausia le fa'atonutonuina o le fa'asolosolo o le vevela i le itu tauagavale ma le taumatau

● Fa'amautinoa le tutusa o tulaga o le sublimation ma le crystal deposition

2. MOCVD ma Faiga Epitaxial

● Galue o se fa'avevela e fa'asa'o ai le vevela

● Fa'amautinoa le tufatufaina tutusa o le vevela o le apa

● Lagolagoina le tuputupu aʻe maualuga o le vaega epitaxial mo masini GaN ma SiC

3. Ogaumu Fa'asalalau ma Fa'asusu

● Tu'uina atu ni vaega fa'avevela mautu ma mafai ona toe faia

● E mafai ai ona pulea lelei le sosolo o le dopant i totonu o le silicon wafers

4. Fa'agasologa o le Vacuum & High-Vevela

● Tausia le mautu o le fausaga i lalo o le maualuga tele o le vacuum

● Fa'amautinoa le tumau o le vevela i le fa'agasologa o le tele o galuega

Ufiufi Fa'avevela + SiC: Fuafuaga Fa'ainisinia Fa'apitoa Maualuga

Ina ia ausia manaʻoga o node semiconductor o le isi tupulaga, ua tuʻuina atu e le Semixlab ni faiga faʻavevela graphite ua mamanuina faʻapitoa faʻatasi ai ma le faʻaogaina o le SiC coating faʻapitoa.

Fa'amanuiaga Fa'atino o le SiC Coating:

● Taofiofia o Mea Fa'aputu: fa'aitiitia tele ai le gaosia o le pefu kaponi

● Tete'e atu i vaila'au fa'akemikolo: puipuia mai le H₂, NH₃, Cl₂, ma kasa fa'a'ele'ele

● Puipuiga mai le Oxidation: fa'alauteleina le umi e ola ai le masini fa'avevela i siosiomaga e maualuga le vevela

● Fa'ama'a'aina o le Luga: fa'aleleia atili le tumau o le fa'amekanika ma le tete'e atu i le ofuina

● Mamā o le Faagasologa: lagolagoina tulaga faatonuina o le gaosiga o semiconductor e matuā mamā

Agava'a Inisinia Fa'apitoa

E ofoina atu e le Semixlab le faʻatulagaina atoatoa mo faiga faʻavevela:

● Fa'atulagaina o le tete'e eletise mo le fa'aleleia atili o le malosiaga

● Fuafuaga fa'ata'atitia mo le tufatufaina tutusa o le fanua vevela

● Fa'aleleia atili o le feso'ota'iga o le vevela ma le mea e taofia ai le vevela

● Fa'atusatusaga o le fa'alauteleina o le vevela mo fa'apotopotoga e tele meafaitino

● Fa'amaoniga o le fa'atinoga o le vevela e fa'avae i luga o le fa'ata'ita'iga

Fautuaga mo Faiga Fa'ainisinia ma le Fa'aaogaina

E faʻavae i luga o le poto masani umi i le inisinia o meafaigaluega semiconductor, ua fautuaina e le Semixlab mataupu faavae o le mamanu nei:

Fa'atulagaga o Meafaitino Fautuaina: