Va'a Wafer SiC Mama Maualuga

Fofo Fa'aleleia Atili mo le Fa'aaogaina o le 4-12 Inisi

Aiseā ua Suia ai e Kamupani Ta'uta'ua ia Va'a mai le Quartz i Va'a SiC?

E sili atu nai lo le kuata e masani ona pa'ū i le 1150∘C ona o le devitrification, o a matou va'a SiC e tausia le sa'o atoatoa o le geometric i lalo o le mamafa tele o le vevela. Fa'afetai i lona maualuga o le mafiafia, o le CVD SiC matrix e taofia ai le fa'asolo o vaega i ona ala. Ua fausia fa'apitoa e taulimaina ai mana'oga 'zero-excursion' o faiga fa'avae o le sub-micron i aso nei.

E sili atu le lelei o le taulimaina e a matou vaega o le fa'amamāina malosi o le HF/HNO3 nai lo le kuata, e umi se taimi e tumau ai ma fa'aitiitia ai tau o le suiina. Fa'atasi ai ma le pulega fa'avevela sili ona lelei mo le fa'avevela vave ma tutusa, latou te tu'uina atu le mautu o le fa'agasologa e mana'omia mo wafers e 4-inisi i le 12-inisi i le gaosiga tele.

Malamalamaga Faapitoa

E le pei o va'a masani e faia i le graphite e fa'alagolago tele i vali i luga o le fogāeleele, o le fausaga monolithic SiC-on-SiC a le Semixlab e ave'esea ai le "lē fetaui" o le fausaga i le va o le substrate ma le pa'u. I le tu'ufa'atasia o le expansion coefficients i le iunite atoa, ua matou foia ai le fa'afitauli tumau o le pisinisi o le delamination. Mo ie tetele e 8-inisi ma le 12-inisi, e le na'o se fa'aleleia atili o meafaitino lenei—o se suiga tele o le TCO. Faatasi ai ma se olaga tautua e 5x e sili atu nai lo le quartz masani, o a matou va'a SiC malolosi e liua ai se tau fa'aalu i se aseta gaosiga mo se taimi umi.

Fa'amatalaga Fa'apitoa & Fa'asinomaga

E mafai ona matou fetu'una'i mea uma e fetaui ma le fa'atulagaga fa'apitoa o lau ogaumu—pe fa'alava pe fa'atūsa'o—ma fetu'una'i i ou mana'oga tonu e taulima ai le uafe.

Talosaga masani 

O a matou va'a SiC ua fausia mo tulaga sili ona faigata o le gaosiga. E tumau lelei lava lo latou foliga i le taimi o le Si/SiC Epitaxy e ui lava i le fa'a'ofuina o le H2, ma o lo latou mama maualuga e fa'asaoina ai le ola mo faiga o le Diffusion lea e lamatia ai le fa'aleagaina. Mo le ALD ma le LPCVD, latou te galulue o se mea e fa'amautu ai le vevela e fa'amautinoa ai o lo'o fa'aputu tutusa le ata tifaga i luga o wafers uma.

Ata o le faiga CVD mo le ufiufiina o le SiC Boat, ma ia mautinoa le mama o le 7N ma le mafiafia tutusa

1) 7N Mama Tele-Maualuga (CVD Encapsulation) Nai lo le ufiufi masani, matou te faʻaaogaina se CVD SiC encapsulation maualuga-mafiafia e loka ai le mama lautele o le 99.99999%. Mo masini eletise maualuga-voltage e pei o IGBTs ma MOSFETs, e le o se filifiliga lea—o le pau lea o le auala e taofia ai mea leaga uʻamea (Fe, Ni, Cu) mai le faʻaosofia o tafega matautia.

2) Fa'ata'ita'iga o le Slot ua Fa'ainisinia ma le Sa'o Matou te le faia le "tasi le lapo'a e fetaui mo tagata uma." Pe e te mana'omia se V-groove masani pe se U-slot fa'apitoa mo le taulimaina o le wafer manifinifi ma vaivai, o a matou CNC center e taofia le fa'atagaina i le ±0.05mm. O lenei sa'o tele e fa'aumatia ai le gatete o le wafer i le puna ma fa'aitiitia ai le mamafa o le pito i le taimi o fesiitaiga fa'arobotika saoasaoa maualuga.

3) Fa'aleleia Atili o le Ta'amilosaga o Tiute ma le Fa'afetauiina o le CTE O le fa'aletonu tele i va'a ua ufiufiina o le delamination. Ua matou foia lenei mea e ala i le fetu'una'i o le malosi o le pipii o le ufiufi ina ia atagia lelei ai le Coefficient of Thermal Expansion (CTE) o le substrate. O le i'uga? O se va'a e sao mai le ta'amilosaga faifai pea o le vevela i ogaumu Oxidation ma Diffusion e aunoa ma le malepelepe pe sae ese o le ufiufi mai le mea autu.