graphite isostatic maualuga-mama mo semiconductor

Semixlab High mama Isostatic graphite, ona o lona mama maualuga, fausaga lelei fatu, toniga density, teteʻe vevela vevela, ma machinability sili ona lelei, e masani ona faʻaaogaina i le semiconductor alamanuia. O lo'o i lalo mea tetele ua mae'a ma a latou matafaioi tutusa i faiga taua:

Isostatic Graphite mo Talosaga Semiconductor

1. I le MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)

O le MOCVD o se faiga autu mo le fausiaina o faʻamau epitaxial o GaN, GaAs, ma SiC. Isostatic graphite e masani ona faʻaaogaina e gaosia ai:

● Susceptors: Auauna e pei o ni mea e feavea'i masi e uu ma fe'avea'i masi i totonu o le reactor. Latou te tuʻuina atu le faʻafefe o le vevela, faʻamautinoa le tuputupu aʻe faifaipea o le epitaxial i luga o le luga o le wafer. E masani ona ufiufi i le CVD SiC poʻo le TaC e faʻaleleia ai vailaʻau faʻamalosi ma faʻalautele le ola.

● Wafer Carriers / Graphite Vaa: Fa'aaoga e utaina ai le tele o wafers i le taimi e tasi. Latou te manaʻomia le faʻaogaina saʻo e faʻatumauina le mafolafola mafolafola ma aloese mai le faʻaleagaina.

● Elemene Fa'avevela: O mea fa'avevela graphite e maua ai nofoaga fa'amama mautu ma tutusa e mana'omia mo le epitaxy maualuga.

Matafaioi autu: Isostatic graphite faʻamautinoa le tutusa o le vevela, faʻamautu kemisi, ma le umi o le auaunaga, lea e aʻafia ai le lelei o ata tifaga epitaxial.

2. I totonu o ogaumu fa'ama'i ma fa'asalalauina

Laasaga o le gaosiga o le vevela maualuga, e pei o le dopant diffusion, oxidation, ma le annealing, faʻalagolago tele i vaega o le graphite isostatic, e aofia ai:

● Va'a Fa'aa'aumu Fa'alaua'itele: U'u ni fa'ama'i masi i le taimi e fa'alili ai le vevela ma fa'agasologa fa'asalalauina. O le graphite e maua ai le fa'amautu lelei o le vevela ma le fa'aletonu la'ititi i lalo o le uila fa'asolosolo.

● Laina ma Vaega Insulation: O laina graphite ma talipupuni e puipuia ai potu o le ogaumu mai le faaleagaina ma faʻaleleia le tutusa o le vevela.

● Heater Tubes & Elements: Faʻaaogaina e avea ma faʻavevela faʻafefe i totonu o siosiomaga vevela maualuga, tuʻuina atu saʻo ma tumau le vevela.

Matafaioi autu: Isostatic graphite vaega e mafai ai ona leai se faʻamaʻi, faʻamautu, ma toe faʻaaogaina le vevela, e taua tele mo le faʻaogaina o le dopant ma le faʻaitiitia o faaletonu.

3. I le SiC Epitaxy (4H-SiC, 6H-SiC tuputupu aʻe)

SiC epitaxial tuputupu ae manaomia ultra-maualuga vevela (>1500°C) ma corrosive siosiomaga kesi. Isostatic graphite e faʻaaogaina e fai ai:

● SiC-coated Susceptors: Tuuina atu le lagolago substrate i le taimi o le SiC epitaxy, faʻamautinoa lelei le tufatufaina o le vevela ma le mautu o luga i lalo o tulaga ogaoga.

● Foe Graphite & U'u Wafer: Fa'amautu fa'amau i le taimi o le ta'amilosaga ma le tafe o le kesi, fa'amautinoa le fua fa'atatau o le tuputupu a'e ma le mafiafia o fa'apa.

● Fa'agasologa Tube Vaega: Vaega graphite fausaga i totonu epitaxy reactors fa'asagatau si'osi'omaga saua a'o tausisia le mama.

Matafaioi autu: Isostatic graphite i le SiC epitaxy e maua ai le saʻo saʻo, vailaʻau faʻamaʻi, ma le faʻalagolago i le faʻaogaina o le vevela, lea e aʻafia saʻo ai le fua o le wafer ma le tutusa ata tifaga epitaxial.

I le avea ai o se taʻitaʻi faʻatau oloa maualuga-mama isostatic graphite i Saina, Semixlab ua tuuto atu i le tuʻuina atu o oloa faʻapitoa ma fofo faʻapitoa mo le gaosiga o semiconductor. Matou te faʻafeiloaia au fesili i soo se taimi ma faʻamoemoe faʻamaoni e avea ma au paaga umi.