0200-10377 Mama Tasi le Potu DPS 195mm

Ua gaosia i mea seramika e maualuga le mama mai le semiconductor ma le tekinolosi masini sa'o, o lenei vaega o le mama seramika e ofoina atu le tete'e tulaga ese i le soloia o le plasma, le taamilosaga o le vevela, ma le gaosiga o vaega laiti i siosiomaga faigata o le eliina mago.

O le AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS Chamber o se vaega mama seramika sa'o e fa'aaogaina tele i faiga AMAT DPS (Decoupled Plasma Source) mo fa'aoga fa'agasologa wafer 200mm.

Vaega Faataua:

● Mea seramika mama maualuga

● Feso'ota'iga sili ona lelei i le RF plasma

● E itiiti le fa'aleagaina ma le gaosia o ni fasi mea laiti

● Tete'e sili atu i le fa'aleagaina o le plasma

● Mausali maualuga i le fa'amekanika ma le vevela

● Fa'amasini sa'o mo le tu'ufa'atasia o le potu DPS

Matafaioi i le AMAT DPS Systems

I totonu o faiga etching plasma a le AMAT DPS, o le Ring Single 195mm Ceramic Component e galue o se vaega taua e pulea ai le plasma ma le puipuiga o le potu.

Pulea o le Pito Plasma

E fesoasoani le mama seramika e fa'aleleia atili le tufatufaina atu o le plasma e lata ane i le pito o le wafer, fa'aleleia atili ai le tutusa o le etching ma fa'aitiitia ai le fa'aletonu o le fa'agasologa o le pito i le taimi o le fa'agasologaina o le plasma maualuga.

Puipuiga o le ESC ma le Potu

Ua fa'apipi'iina i tafatafa o le vaega o le electrostatic chuck (ESC), o le mama e galue o se pa puipui mai le malosi o kemisi plasma, e fesoasoani e fa'aitiitia ai le soloia o le potu ma fa'alauteleina ai le umi e ola ai le vaega.

Fa'amautuina o le RF Plasma

Faatasi ai ma uiga mautu o le dielectric, o le mama seramika e fesoasoani i le faaleleia atili o le RF coupling ma le mautu o le plasma i totonu o le potu DPS.

Fa'aitiitia Fa'aleaga

O lona fausaga seramika e maualuga le mama e faʻaitiitia ai le gaosiga o ni fasi mea ma le faʻaleagaina o uʻamea, e lagolagoina ai manaʻoga faʻapitoa o le mama o le faʻagasologa o semiconductor.

Fa'aoga Masani i Fa'agasologa o Semiconductor

O le AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS Chamber e faʻaaogaina lautele i galuega faʻapitoa o le etching dry ma le plasma processing, e aofia ai:

Fa'a'ofu'ofu Dielectric: Lagolagoina le amio mautu o le plasma i le taimi o le fa'agasologa o le oxide ma le dielectric layer etching.

Oxide & Contact Etch: Fesoasoani e fa'aleleia le tutusa o le etch ma le puleaina o le pito o le wafer i le taimi e pa'i ai ma e ala i faiga o le fausiaina.

Vā'iina o Uamea: E tu'uina atu le puipuiga o le potu ma le mautu o le fa'agasologa i siosiomaga e vaneina ai u'amea plasma.

Fa'agasologa Fa'a-Plasma Maualuga: Talafeagai mo fa'aoga plasma maualuga le mafiafia e mana'omia ai le maualalo o le fa'aleagaina o vaega ma le fa'atinoga RF mautu.

Gaosiga o le Semiconductor 200mm: Ua fa'alelei mo faiga AMAT DPS o lo'o fa'agaoioia wafers 8-inisi i totonu o semiconductor ie.

Aisea Semixlab?

E fa'apitoa le Semixlab i vaega fa'apitoa o le semiconductor ceramic mo le etching plasma, deposition, ma masini fa'agasologa o le vevela.

Matou te tuʻuina atu:

● Mea seramika e fa'aaogaina i le tulaga semiconductor

● Tomai fa'apitoa i le fa'amasiniina

● Vaega semiconductor e fetaui ma OEM

● Puleaina lelei mautu

● O fofo fa'apitoa mo keramika

O la matou misiona o le lagolagoina lea o kamupani gaosi semiconductor i ni fofo faʻatuatuaina ma lelei le faʻatinoga mo masini gaosi wafer o le isi tupulaga.