0200-06508 Talita Seramika Pito i Luga 300mm

O le 0200-06508 Top Ceramic Shield 300mm o se vaega puipuia seramika e fa'aaogaina i totonu o potu fa'agasologa plasma fa'apitoa. I lona fausaga, e aofia ai i le vaega o vaega puipuia seramika e fa'asaga i le plasma ua tu'ufa'atasia i totonu o fa'apotopotoga o potu pito i luga i totonu o fa'avae o meafaigaluega semiconductor.

E le pei o talita fa'amekanika masani, o lenei vaega seramika e fa'atinoina le tele o galuega taua i le taimi e tasi. E le gata o se pa puipui fa'aletino e tete'e atu i le soloia o le plasma, ae o se vaega fa'aleleia potu e fesoasoani i le mautu o le plasma, tutusa o le fanua RF, ma le puleaina o le fa'aleagaina i le taimi o le fa'agasologa o le semiconductor wafer.

Uiga o Mea ma Fa'amanuiaga

Ina ia tete'e atu i siosiomaga malolosi o le semiconductor plasma, o le 0200-06508 Top Ceramic Shield 300mm e masani ona gaosia i le fa'aaogaina o mea seramika fa'aonaponei e maualuga le mama ma ua mamanuina mo le tumau o le plasma, mautu i le vevela, ma le maualalo o le fa'aleagaina.

O faiga masani o meafaitino e ono aofia ai:

●Alumina Mama Maualuga (Al₂O₃)

●Alumina Ufiufi Y₂O₃

●Omea Silicon Carbide (SiC)

●Alumini Nitride (AlN)

I totonu o nei meafaitino, o le alumina mama maualuga o loʻo tumau pea o se tasi o fofo sili ona faʻaaogaina lautele ona o ona uiga lelei tele i le puipuiga o le eletise, teteʻe malosi i le plasma, ma le mautu o le faʻatinoga faʻainisinia.

1. Tete'e Sili i le Plasma

E masani ona aofia i faiga fa'agasologa o le plasma semiconductor ni kemisi malolosi o le fluorine e pei o le CF₄, NF₃, ma kasa fluorocarbon. O mea fa'a-seramika fa'aonaponei e maua ai le tete'e malosi e fa'asaga i le soloia o le plasma, e fesoasoani e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le fogaeleele ma fa'alauteleina ai le umi e ola ai le vaega i lalo o le fa'aauau pea ona fa'aalia i le plasma.

2. Fa'atupuina o Mea Fa'aitiiti

O le fa'aleagaina o vaega laiti o lo'o tumau pea o se tasi o atugaluga sili ona taua i le gaosiga fa'atekonolosi fa'atekonolosi. O le fa'agasologa sa'o o le seramika ma tekinolosi fa'alelei o le fa'auma o luga e fesoasoani e fa'aitiitia ai le fa'ama'a'aina o vaega laiti, le fe'avea'i, ma le malepelepe o luga i le taimi o le fa'agaoioiga o le potu fa'aoga.

3. Fa'atinoga mautu o le Dielectric

O meatotino dielectric o seramika semiconductor e aʻafia saʻo ai le RF coupling ma le amioga a le plasma i totonu o le potu. O uiga dielectric mautu e fesoasoani e faatumauina le tufatufaina tutusa o le plasma density ma faaleleia atili ai le toe faia o le faagasologa i taamilosaga o gaosiga.

4. Maualuluga Fa'asao maualuga

E tausia e mea seramika le mautu o le fua i lalo o le vevela maualuga ma tulaga faifai pea o le taamilosaga o le vevela. O latou uiga maualalo o le fa'aleagaina o le vevela e fesoasoani i le fa'agaoioiga mautu o le potu ma le fa'atinoga fa'atuatuaina o le fa'agasologa i se taimi umi.

5. Mama o le Vasega Semiconductor

O vaega o le seramika semiconductor e gaosia i ni tulaga le mama e matua pulea lelei e faʻaitiitia ai le lamatiaga o le filogia o uʻamea i le taimi o galuega faʻatino i le gaosiga o le wafer i luma.

Galuega Autu o le Fa'agasologa

O se tasi o galuega taua a le 0200-06508 Top Ceramic Shield 300mm o le puipuiga lea o le potu. I le taimi o le fa'agasologaina o le plasma, o le fa'apotopotoga o le potu pito i luga e fa'aalia pea i ni ion malolosi ma ni plasma tali vave e mafai ona fa'aleagaina vave ai luga o le potu. O le talita seramika e fai ma pa puipui e fa'aitiitia ai le osofa'iga tu'usa'o a le plasma i vaega taugata o le potu, e fesoasoani e fa'alauteleina le umi o le ola o le potu ma fa'aitiitia ai le tele o tausiga.

E taua fo'i le vaega i le fa'amautuina o le plasma. Talu ai ona o le amioga a le plasma e matua'i a'afia lava e le geometry o le potu ma le tufatufaina o dielectric, o le talita seramika e fesoasoani i le fausiaina o le fanua RF mautu ma le taofia o le plasma i totonu o le potu. E fesoasoani lea e fa'aleleia atili ai le tutusa o le plasma ma lagolagoina ai taunuuga tutusa o le fa'agasologa o le wafer.

E le gata i lea, o le talita seramika e fesoasoani e faʻaitiitia ai le faʻaleagaina ma le gaosia o ni vaega i totonu o le potu. I le tuʻuina atu o se foliga mautu e faʻasaga i le plasma ma le teteʻe maualuga i le sputtering ma osofaʻiga faʻakemikolo, e fesoasoani le vaega e faʻatumauina tulaga mama o le potu ma faʻaleleia atili ai le fua o le wafer.

O le isi galuega taua o le toe faia o le faagasologa. A o faaauau pea ona agai atu le gaosiga o semiconductor agai i ni node maualuluga ma ni faapalepale faigata o faagasologa, ua faateleina le taua o le tutusa o le potu. E fesoasoani le talita seramika e faatumauina tulaga mautu o le potu i luga o taamilosaga gaosiga uumi, faaleleia atili ai le fetaui o potu ma faaitiitia ai le feeseesea’iga o faagasologa i le va o taimi tausiga.

Semixlab Ceramic Solutions

E tuʻuina atu e le Semixlab ni vaega seramika semiconductor e maualuga le faʻatinoga ua mamanuina mo le plasma etch, deposition, ma faʻaoga faʻapitoa mo le faʻagasologa o le wafer. O a matou vaega faʻapitoa o seramika semiconductor e gaosia ma le pulea lelei o le faʻatagaina o le tele, mama o meafaitino semiconductor, ma tekinolosi faʻauma maualuga e faʻafetaui ai manaʻoga faigata o siosiomaga faʻaonaponei o le gaosiga o semiconductor.

Matou te lagolagoina OEM semiconductor, wafer fabs, ma kamupani e tuʻuina atu auaunaga toe faʻafouina meafaigaluega faʻatasi ma:

●Fa'a'ele'eleina o le seramika sa'o

●Vai fa'a-seramika e tete'e atu i le plasma

●Mea fa'aaogā mo le potu semiconductor

●Vaega fa'asao seramika mama maualuga

●Tekinolosi fa'aonaponei mo togafitiga o luga

●Fa'atulagaina o vaega o le fa'agasologa o le Semiconductor