Semiconductor Quartz Flow Baffle

Ⅰ. Meafaitino ma Uiga i luga

● Mea: Silica fused maualuga-mama (synthetic poʻo quartz natura, mama ≥99.99%).

● Tete'e vevela: Fa'atinoga mautu i le vevela fa'aauau e o'o atu i le 1200°C.

● Fa'ai'uga Fa'a'ele'ele: Fa'aliga sa'o-fa'alelei e puipuia ai le pipi'i o ni vaega.

● Faʻalauteleina o le vevela: Faʻatasi le maualalo o le faʻalauteleina (5.5 × 10⁻⁷ / ° C) faʻamautinoa le mautu o itu.

● Tete'e i Vailaau Fa'asaienisi: Fa'agata i kasa pala e pei ole HCl, NH₃, ma le SiH₄.

E faia su'esu'ega ta'itasi ta'itasi mo le lelei o luga, sa'o sa'o, ma le fa'atonutonuina o pulumu i totonu, fa'amautinoaina le mama ma le fa'amaoni i vaega uma o gaosiga.

Ⅱ. Galuega Autu i Fa'agasologa Semiconductor

Ole Quartz Flow Baffle e fai ma fa'atonuga o le tafe ma vaega fa'atonutonu fa'avevela i totonu ole potu gaosi semiconductor vevela maualuga. O lana galuega e sili atu nai lo le na o le faʻatonuina o kasa-e faia se sao faʻapitoa i le faʻamautuina o le siosiomaga faʻagasologa, faʻaleleia le faʻaogaina o meafaitino, ma faʻamautinoa le tutusa o le wafer-to-wafer.

1. Tufatufaina Fa'atasiga Fa'asuaga Gas

I fa'agasologa e pei ole LPCVD, PECVD, ma le epitaxy, e taua tele le tu'uina atu o le kasa i le ausiaina o le tuputupu a'e o ata manifinifi faifaipea ma le tufatufaina o dopant. Ole quartz flow baffle ile fa'atekonolosi fa'atekonolosi fa'atekonolosi - e aofia ai ona alavai fa'ata'ifa'i, fa'afefete le pi'o, ma le va'aiga lelei - fa'amautinoa o lo'o taape tutusa kasa fa'agaoioi i luga o le fa'aeleele. E ala i le fa'atumauina o le fa'asologa o le tafe o le laminar, e fa'amautinoa ai e le fa'amama fa'amama ta'itasi i totonu o se fa'aputuga tulaga tutusa o le fa'aalia o le kesi, ma fa'aleleia atili ai le mautu ma le fa'atumauina o masini.

2. Fa'amautu Fa'asao vevela ma Paleni Fa'aliliuga vevela

I le taimi o le maualuga o le vevela e pei o le faʻamaʻiina o le vevela poʻo le Si epitaxial tuputupu aʻe, e oʻo lava i suiga laiti i le tufatufaina o le vevela e mafai ona iʻu ai i faʻaletonu tioata, faʻalavelave, poʻo le faʻamamafa ata.

O le quartz flow baffle e galue e pei o se faʻaogaina o le vevela:

● Fa'amalie le fa'alili o le vevela i le va o le ogatotonu ma le pito o le va'a wafer

● Fa'aitiitia le le paleni o le vevela i totonu o le ogaumu

● Faʻaitiitia le faʻateʻaina o le vevela i le taimi o le siʻitia o le vevela ma le faʻasolosolo i lalo

3. Taofi le Fa'aleagaina ma Fa'agasologa Mama

I le gaosiga o le semiconductor, e sili ona taua le puleaina o le faʻaleagaina. O le u'amea po'o le fa'ama'i e mafai ona matua fa'aleagaina ai le gaosiga o masini. O le Quartz Flow Baffle, na faia mai le silica fused fused ultra-high-purity (SiO₂ ≥ 99.99%), e le faʻaofiina ai ni ion uʻamea poʻo ni toega kaponi i totonu o le potu gaioiga. O lona luga lamolemole, e le porous e taofia ai le faaputuputuina o mea e maua mai i le tali ma le faamaligiina o vaega. E fa'amautinoaina le mautu o potu mama mo faiga fa'apitoa e pei o le fa'atūina o le oxide gate, diffusion doping, ma le CVD dielectric deposition.

O le Semixlab Quartz Flow Baffle e le na'o se vaega fa'atosina 一 ose mea taua tele e mafai ai ona fa'amautu le faagasologa, tutusa kesi, ma fua lelei. E ala i lona fa'asolosolo fa'asolosolo fa'asolo, paleni fa'amama, ma mea fa'amama ultra-mama, e fa'amautinoa ai e maua e wafer ta'itasi se si'osi'omaga sa'o fa'atonu-taua mo le gaosiga o masini semiconductor e sosoo ai.