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Vaa Wafer SiC-Mama maualuga
I le avea ai ma taʻutaʻua Saina gaosi oloa ma faʻatau atu le High-Purity SiC Wafer Boat, Semixlab's Silicon Carbide wafer vaʻa e faʻaaogaina lautele i fesoʻotaʻiga autu e pei o le LPCVD, faʻamaʻiina ma le faʻamaʻiina ona o lona faʻamautuina lelei o le vevela, teteʻe o le pala ma le malosi faʻainisinia. Afai o loʻo e suʻeina se SiC Wafer Boat e mafai ona faʻaitiitia ai le faʻaleagaina o vaega, faʻalautele le ola tautua ma faʻamautinoa le saogalemu o le wafer, o lenei oloa o le a avea ma au filifiliga sili.
faʻamatalaga
I le tulaga o le gaosiga o le semiconductor, o fa'agasologa o le vevela o lo'o tula'i mai ai ni lu'itau ogaoga i va'ava'a. A sili atu le vevela i le 1600 ℃, o le vaʻa quartz masani (wafer faʻaaogaina vaʻa quartz) e amata ona faʻamalulu ma faʻaleagaina ma faʻasaʻo mea filogia, ma mafua ai ona siʻitia le fua o le lapisi.
High-Purity SiC Wafer Boat, faʻatasi ai ma le faʻaogaina o mea faʻapitoa o le silicon carbide (SiC), e foia atoatoa lenei tulaga tiga o pisinisi ma avea ma meafaigaluega taua mo le gaosiga o semiconductor, aemaise lava le gaosiga o masini eletise SiC.
auiliili
Autu fa'aletino ma mea fa'atekinisi o le oloa:
| Faatinoga faailo | Vaa Wafer SiC-Mama maualuga | Tu'u quartz masani | Fa'aleleia lelei |
| Laʻasaga o le telefoni faʻatonutonu | 1800°C (fa'aauau) / 2000°C (maualuga) | 1200 ° C | Toe fa'aleleia le vevela ile 50% |
| Faʻaauau le gaioiga | 4.9 W/cm·K (vevela potu) | 1.5 W/cm·K | E 226% le lelei o le fa'amama'i o le vevela. |
| Coefficient o faʻalautelega vevela | 4-5 × 10⁻⁶/K | 0.55 × 10⁻⁶/K | Fa'aleleia le mautu vevela ile 7 taimi |
| maaa | Mohs 9.2 (na'o lona lua i taimane) | Mohs 7 | Fa'aleleia le fa'aofuofu i le 30 taimi |
| Fa'amama fa'afeso'ota'i wafer | <5 MPa (mamanu e tete'e mase'e) | > 20 MPa | Fa'aitiitiga o le fa'ase'e fa'asusu i le 80% |
| Fa'asa'olotoga | 0 vaega/cm² (Vaega 100 mama) | >50 fasimea/cm² | Filogia latalata ile zero |
O le fa'atinoga lelei o le fa'a'ave'u u'u mea fa'asolo (SiC Wafer Carrier) e afua mai i ana mea fa'asaienisi tulaga ese. O lo'o i lalo se fa'atusatusaga au'ili'ili o ta'iala fa'aletino autu:
O nei fa'amaufa'ailoga e fa'aliliu sa'o i le fa'aleleia o fua ma fa'aitiitia tau i le gaosiga o semiconductor, e pei ona fa'aalia i lalo:
Fa'amanuiaga fa'atino fa'avevela: SiC's wide bandgap (3.26 eV) fa'amautinoaina o lo'o fa'atumauina se fausaga tioata mautu i le 2000°C ma aloese mai le fa'aleagaina o le vevela. O le maualuga o le vevela (4.9 W/cm·K) e mafai ai ona fa'avevela atili le fa'avelaina o le wafer ma fa'ate'a ai fa'aletonu lattice e mafua mai i le mamafa o le vevela.
Malosi fa'ainisinia: 9.2 Mohs ma'a'a e tete'e a'afiaga fa'aletino i le taimi o le fa'agasologa, ma o le soifua tautua e sili atu i le 10 taimi nai lo le fa'atauga masani o le quartz. O le mamanu tulaga ese semicircular slot fa'atonutonuina le mamafa o le fa'afeso'ota'i wafer i lalo ole 5MPa, fa'ato'a fa'ate'aina ai le tulaga maualuga o le vevela.
Fa'agata fa'ama'i: O le fa'apalepale i kasa sili ona pala e pei o le HF ma le HCl e sili atu i le 10,000 itula, ma e leai se fa'aleagaga o lo'o tumau pea ile LPCVD, fa'asalalauga, fa'ama'i ma isi faiga.
talosaga
O le matafaioi autu a le High Purity SiC Wafer Boat
O la matou Va'a SiC Wafer High-Purity o loʻo faʻaaogaina lautele i faiga faʻavae semiconductor autu nei:
Fa'amauina o le vevela maualuga: I le laina gaosiga o sic wafer gaosi, maualuga-vevela annealing o se laasaga autu e faʻagaoioia dopants ma toe faaleleia lattice faaletonu. O le maualuga o le vevela o le vaʻa vaʻa SiC e faʻamautinoa ai le tutusa ma le aoga o le faʻagasologa o le annealing.
Tuputupu Epitaxial: Pe o le silicon-based epitaxy poʻo le silicon carbide wafer epitaxy, o le maualuga o le vevela ma le faʻafefeteina o le SiC wafer vaʻa e avea ai ma se uta lelei e faʻamautinoa ai le maualuga o le tuputupu aʻe o le epitaxial layer.
Faʻasesega: I totonu o le ogaumu faʻasalalau maualuga, o le SiC wafer vaʻa i le LPCVD wafer vaʻa e mafai ona tatalia togafitiga umi-maualuga e faʻamautinoa le tuʻufaʻatasia o le doping atoms ma fausia saʻo mea eletise.
Fa'amauina Ata Ata Manifinifi: Aemaise lava mo le Lpcvd wafer boat applications, o le sili ona maualalo o le faʻamaligiina o fasimea ma le lelei tele o le faʻafefe o vaʻa SiC e fesoasoani i le mauaina o ata maualuga, maualuga tutusa.
Meafaigaluega fetaui ma le faagasologa o fesoʻotaʻiga:
✔ E fetaui ma ogaumu masani LPCVD (pei o TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar, ma isi)
✔ Fa'atonuga fa'apitoa e pei ole 100mm/150mm/200mm
✔ Lagolagoina fa'alava ma fa'atū sa'o fa'apipi'iina meafaigaluega
Semixlab's SiC wafer va'a o se filifiliga lelei e fa'aleleia atili ai lau fa'agasologa lelei ma fua o oloa, ma o se ta'ita'i i fa'afofoga va'a wafer Semiconductor.
tatou Auaunaga
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Semixlab faleoloa oloa
