0200-09911 Mama Ufiufi Kuata

O le AMAT 0200-09911 Quartz Cover Ring o se vaega kuata mama maualuga ua mamanuina ma le sa'o, ua mamanuina mo le fa'aaogaina i totonu o faiga etching plasma. E galue o se mama puipuia ma fa'atonutonuina le fa'agasologa o lo'o fa'apipi'iina i totonu o le potu etching, aemaise lava i totonu o fa'avae fa'agasologa wafer 200mm.

O lenei vaega ua gaosia mai le kuata ua fa'afefiloi i le mama maualuga, ua fa'alelei mo siosiomaga semiconductor ogaoga e fa'ailoaina e:

● Fa'aalia i le plasma malosi tele

● Kasa kemikolo tali atu (e pei o kemikolo e faʻavae i le fluorine)

● Tulaga vave o le taamilosaga o le vevela

I le Semixlab Technology, o lenei oloa ua gaosia ma le pulea lelei o:

● Mamā o meafaitino (e itiiti le pisia i u'amea)

● Fa'apalepale o fua (e taua tele mo le puleaina o le fa'agasologa o pito)

● Fa'auma o le fogāeleele (fa'aitiitia ai le tuputupu a'e o ni fasi mea)

O lenei mea e mautinoa ai le faifai pea o le faatinoga i faiga fa'aonaponei o le gaosiga o semiconductor.

Faiga Fa'aletonu masani

I le avea ai o se vaega e faʻaaogaina e faʻagaoioia i lalo o tulaga faigata o le plasma, o le Quartz Cover Ring e mafai ona aʻafia i ni auala faʻaleagaina:

1. Fa'aleagaina e mafua mai i le plasma

● Fa'amata'utia o le fogāeleele ona o le fa'apāpāina o le ion

● O le faasolosolo malie o le leiloa o meafaitino e suia ai le fausaga

A'afiaga: Fa'aitiitia le tutusa o le valiina ma le le mautu o le fa'atinoga o le fa'agasologa

2. Fa'aputuga ma le Fa'aleagaina o Vaila'au

● Fa'aputuga o le polima po'o oloa fa'aopoopo i luga o le fogāeleele

● Ma'ila pe ma'ila i le taimi o le fa'avevela

A'afiaga: Fa'atupuina o ni fasi mea ma le fa'aleagaina o le apa

3. Fa'aleagaina o le Vevela

● O le fa'avevela ma le fa'amālūlūina faifai pea e mafua ai ni māvaevae laiti

● O le sosolo o māvaevae e mafua ai le faaletonu o le fausaga

A'afiaga: Fa'afuase'i ona malepe ma le le fuafuaina o le taimi e taofia ai le masini

4. Fa'atupuina o Masini

● O le matua o le kuata e mafua ai ni malepelepe laiti

● O le pala o luga e fa'asa'oloto ai ni vaega laiti i totonu o le potu

A'afiaga: Fa'ateleina le leiloa o le fua ma le fa'aletonu

Aiseā e Filifili ai le Tekonolosi a le Semixlab?

I le Semixlab Technology, matou te tuʻufaʻatasia le tomai loloto i le faʻagasologa o semiconductor faʻatasi ai ma le gafatia faʻapitoa o le gaosiga o kuata e tuʻuina atu ai:

● Mea fa'asili mama maualuga mo le fa'agasologa mama tele

● Masini sa'o mo le fetaui lelei ma le OEM

● Fa'aleleia atili le fa'atinoga i le olaga atoa e fa'aitiitia ai le tau o le umiaina (CoO)

● Pulea lelei o le lelei e ogatasi ma tulaga faatonuina o le semiconductor fabric

O a matou vaega sui ua mamanuina ina ia ausia pe sili atu i tulaga faʻatonuina o le OEM, ma faʻamautinoa ai le fesoʻotaʻiga lelei ma le faʻatinoga faʻatuatuaina i siosiomaga faigata o le etch.

Tulaga i Meafaigaluega ma le Matafaioi Faatino

Faʻapipiʻi tulaga

E masani ona fa'apipi'i le Quartz Cover Ring:

● I tafatafa o le vaega o le pito o le apa

● I luga pe lata ane i le perimeter o le electrostatic chuck (ESC)

● I totonu o le sone e fa'aalia ai le plasma o le potu etch

E faʻagaoioia o se vaega o le faʻapotopotoga o le puleaina o le pito, e galulue faʻatasi ma vaega e pei o mama taulaʻi ma mama ata.

Galuega Taua

1. Puipuiga o le Potu ma Vaega

O le mama e fai ma pa puipui, e puipuia ai vaega taua (e pei o ESC ma puipui o potu) mai:

● Fa'apa'ūina tuusa'o o le plasma

● 'Ele o vaila'au fa'akemikolo

● Fa'aoso e mafua mai i le ion

O lenei mea e fa'alauteleina ai le umi e aoga ai vaega taua o le potu.

2. Pulea o le Pito Plasma ma le Mausali o le Faagasologa

O le geometry fa'ainisinia (e pei o fa'asologa fa'asitepu ma foliga fa'apito) e fesoasoani:

● Fa'atonutonu le tufatufaina o le ufi plasma e lata ane i le pito o le wafer

● Fa'aitiitia le eseesega o aafiaga o pito

● Fa'aleleia le tutusa o le etch ma le puleaina o le CD (fua taua)

E matuā tāua tele lenei mea i faiga fa'aliliuina o mamanu e maualuga le sa'o.

3. Pulega o le Tafe o le Kasa ma Oloa e Maua Mai

O le mama ufiufi e fesoasoani i:

● Fa'atonutonuina o le tafe o le kesi i le pito o le wafer

● Fa'aitiitia le fa'aputuina o le polymer i vaega e le mana'omia

● Tulaga mautu o le potu i taimi umi o le faagasologa

E lagolago tuusa'o lenei mea i le toe faia ma le fa'aleleia atili o le seleselega.