Talita vevela Kuata

O le Quartz Heat Shield, e faia i le quartz papa'e susu, ose vaega fa'amalo fa'amama e fa'aogaina mo le fa'aoga i masini epitaxy SiC maualuga. Pe a fa'atusatusa i le quartz manino, o lenei mea e maua ai le fa'alumaina sili atu, fa'aleleia atili le fa'amautuina o le faagasologa, ma sili atu le taugofie-ma fa'apena ona lelei mo le fa'afefeteina i totonu o potu tali MOCVD ma CVD.

Ⅰ. Meafaitino Tulaga & Meatotino Faaletino Autu

● Mea: Milky white quartz (silica fused synthetic with dispersed microbubbles ma saito tuaoi)

● Lanu & Foliga: Pa'epa'e pa'epa'e

● Thermal Conductivity: E maualalo ifo nai lo le quartz manino ona o le faʻapipiʻiina o totonu

● Galulue Vevela: Mautū e oo atu i le 1700°C

● Fa'alili Fa'aalili: ~0.55 × 10⁻⁶ /K (tutusa ma le quartz manino)

● Tete'e Tete'e Tete'e maualuga

● Fa'amama Sili Vailaau: Su'e mea leaga (fa'ata'ita'iga, Al, Na) fa'atumauina i lalo ole 1 ppm

Ⅱ. Galuega Autu ile SiC Epitaxy Applications

Milky white quartz ua filifilia faapitoa mo SiC epitaxial reactors ona o tulaga taua nei:

(1) Fa'aleleia o le fa'a'ese'esega fa'avevela

Fa'asalalauina fa'avevela o le Infrared: E fa'asalalauina fa'avevela fa'avevela IR e fa'asolo i totonu ma tuaoi o saito, fa'aitiitia ai le felauaiga o le vevela. E ofoina atu le 30-50% sili atu le fa'alumaina nai lo le quartz manino i lalo ole 1500-1700 ° C tulaga.

Fa'asao Fa'amama maualalo: Fa'asoa Microbubble e fa'aitiitia ai le fa'afefe o le vevela, fa'amalieina le lelei atoatoa o le vevela.

(2) Maualuluga Maua ma Maumau

Tete'e Tete'e Fa'amama: A'o fa'asoa tutusa le fa'asili fa'aopoopo e pei o le quartz manino, e fesoasoani lona microstructure e fa'amalieina le fa'avevela fa'alotoifale—lelei mo faiga fa'avave vave.

Fa'asa'o Fa'atete'e: I le maualuga o le vevela fa'aititia o le ea (fa'ata'ita'iga, H₂), o le quartz susu e sili atu ona tete'e i le fa'a'ese'ese i totonu o le α-cristobalite, fa'aitiitia ai le fa'alavelave gau.

(3) Fa'agasologa Felagolagoma'i & Fa'atonu Pulea

Fa'aitiitiga o Parasitic Deposition: O lona gaogao e fa'aitiitia ai le vevela fa'apitonu'u, lea e taofia ai le fa'apa'iaina vave o mea fa'ameamea (fa'ata'ita'iga, SiH₄, C₃H₈) i luga o talita.

Fa'ato'aga Temperature Field: O le fa'asalalauina o amioga e fa'aolaina ai le tufatufaina o le vevela i luga o le sone tali, taua mo le ausiaina o le tutusa o le epitaxial i masini eletise SiC.

(4) Tau-Tagata

Tau o Mea Maulalo: O le quartz pa'epa'e susu e masani lava ona sili atu le taugofie nai lo le quartz manino ultra-maualuga-mama, ma fa'afaigofie ai e avea o se vaega fa'amama fa'aaogaina.

(5) Tausiga & Manatuga

Faʻamautinoaga Mama: Faʻamautinoa le maualalo o le eleelea (Al, Na <1 ppm) e aloese ai mai le faʻaleagaina o le SiC epitaxial surface.

Puleaina o le Lifecycle: A maeʻa le faʻaaogaina umi (e masani lava> 1000 itula), e mafai e le microbubble coalescence ona faʻaleagaina le faʻaogaina o le vevela - e fautuaina le sui masani.

Talosaga masani

✔SiC MOCVD ma CVD reactors

✔Epitaxial tuputupu aʻe o SiC malosiaga semiconductors

✔O le fa'asalalauina o le vevela ma potu fa'aputu

✔O le talipupuni vevela ile vacuum/inert kasi siosiomaga