Aiseā e Taua Tele ai le Graphite Mama Maualuga mo le Pulea o Fa'aletonu o le SiC Epitaxy

O le lelei o le silicon carbide (SiC) wafer ua gaosia e aʻafia e oʻo lava i suiga laiti i le siosiomaga tuputupu aʻe. O se vaega e le o mafaufau i ai le toʻatele o le graphite o loʻo ufiufi ai le reactor. E tumau i le suega o le vevela tele o loʻo maua i totonu o le reactor aʻo lagolagoina ma tuʻu le wafer i le taimi o le epitaxy. Afai e le mama le graphite pe le tutusa le fausaga, e mafai ona teuina ni fasi mea laiti pe se tali e le manaʻomia i le faagasologa o le tuputupu aʻe. O faʻafitauli laiti i luga o le fogāeleele o graphite e mafai ona tupu aʻe i ni faʻaletonu tetele o le wafer, ma iʻu ai i le tele o galuega ma le maualalo o le seleselega mo le au gaosi chip. O le mea lea, o le tulaga ma le mama o le Susceptor graphite o se mataupu e sili atu ona tāua nai lo le mea e manatu i ai le toʻatele.

E fa'apefea ona a'afia e le mama o le kalafite fa'afitauli o vaega i totonu o potu epitaxy?

O vaega o se fa'aletonu lautele o le wafer i totonu o potu epitaxy SiC, ma e masani ona a'afia ai le graphite i le faiga. O vaega o le graphite e nonofo i le sone vevela o le SiC reactor, e tauaveina le wafer ma fa'a'afia ai foliga o le vevela. Faatasi ai ma le fa'aaogaina o le graphite e le mama tele, o mea leaga laiti, e pei o mea leaga u'amea, lefulefu, po'o toega o le faiga, e mafai ona alu ese malie mai le graphite i le aluga o taimi i le taimi o le tuputupu a'e o le vevela maualuga. O mea leaga ua aveese mai le kasa e masani ona le iloa i totonu o le potu, ae mulimuli ane latou te pa'u'ū i luga o le wafer, pe avea ma vaega o le vaega o le kesi. Mo se fa'ata'ita'iga, i se tasi o talosaga na filifili ai se fab mo se graphite maualalo mo le fa'asaoina o tau. E ui lava e leai ni fa'afitauli na aliali mai i taimi pupuu i le amataga, ina ua mae'a ni nai ta'amilosaga o Sic epitaxy , na matauina ni pu laiti ma ni togitogi talatala i luga o le fogāeleele o le apa. O le pogai o ia faaletonu na maua mai i ni vaega laiti na sau mai le mea e uu ai le karapite po o le mea e taofia ai le susceptor. O vaega o le a ulufale atu i le potu tuputupu aʻe ma avea o ni fatu i se auala e le manaʻomia. O le mafiafia le tutusa o le vaega o le karapite o le a fesoasoani foi i le malepelepe o le fogāeleele o le vaega pe a faʻavevela, e mafua ai ona sasaa ifo vaega laiti i totonu o le potu i le aluga o taimi, e ui lava atonu e foliga mama le vaega. O le mea lea, o le mataʻituina o le puna o le karapite ma lona talafaasolopito o se galuega masani i totonu o fale gaosi oloa e aloese ai mai faaletonu e fesoʻotaʻi ma vaega laiti. O se karapite mama maualuga ma se aofaʻi faʻatonutonuina o le lefulefu e masani ona manaʻomia, aemaise lava mo gaosiga umi. O le faitauina o taamilosaga faʻavevela o vaega e mataʻituina foi aua o meafaitino o le a sasaa ifo vaega laiti tusa lava pe a maeʻa lelei le faʻagasologa muamua. E le gata i lea, o le auala tausiga mo vaega o le karapite e aʻafia ai faaletonu. Mo se faʻataʻitaʻiga, o faiga faʻamama malosi o le a faʻaleagaina ai le fogāeleele o le karapite ma iʻu ai i ni malepelepe laiti. O le auala e sili ona lelei o se faiga faʻamama agamalu ma faʻatonutonuina ma sina fegalegaleaiga faaletino ma vaega o le karapite. Mo mafuaʻaga tau tamaoaiga, o le suiina o vaega i se taimi vave nai lo le mea na faʻamoemoeina atonu e sili atu nai lo le taulimaina o le leiloa o le fua i laʻasaga mulimuli ane. I se aotelega, o le puleaina o le gaosiga o vaega i se faiga masani a le SiC epitaxy e faʻataʻamilo i faʻamatalaga laiti i le lelei o meafaitino ma faiga faʻatino. O le mataupu o le lelei o le graphite o le fatu lea o le mataupu.

Mea e Manaʻomia mo Vaega ma Susceptors SiC Epitaxial Maualuga

Mo le epitaxy SiC, o vaega i totonu o le reactor e sili atu nai lo na o le 'taofi' o le wafer. O susceptors, graphite carriers ma vaega hotzone i totonu o le reactor e aʻafia saʻo ai le tuputupu aʻe o le tioata. O le mafuaʻaga lea e matua faigata ai meafaitino ma o se tamaʻi faʻaletonu o le a iu lava ina aliali mai o se faʻaletonu i luga o le wafer. O le maualuga o le mautu o le vevela o se mea taua e manaʻomia. O vaega e faʻavevela i le vevela maualuga mo se taimi umi (o nisi taimi e toe faʻaauau pea ona faʻavevela/faʻamālūlūina). O se meafaitino e le mafai ona faʻatumauina le mautu i nei vevela o le a faʻapiʻopiʻo ma ono iu ai ina malepe. O suiga laiti i le geometry e mafai ona suia tele ai le tafe o le kesi ma le tufatufaina o le vevela ma iʻu ai i le le tutusa o le tuputupu aʻe o le tioata i luga o le wafer. O le mama o se isi mea taua. O faiga SiC maualuga e manaʻomia ai le maualalo o le aofaʻi o uʻamea ma le maualalo o le lefulefu i vaega e faʻavae i luga o le graphite. I le taimi o le faʻagaioiga o le a alu ese malie mai uʻamea mai vaega, e mafai e mea leaga ona sosolo i totonu o le potu ma iʻu ai i le faʻaleagaina o vaega poʻo ni faʻaletonu o tioata i le lotoifale. I nisi o fabs, o le faʻaletonu o le faʻaputuga faʻafuaseʻi ua faʻasino i se vaega e tasi o le susceptor ua faʻaleagaina. O le fausaga o luga o se mea taua. O se foliga lamolemole ma tutusa o le a fesoasoani e faʻaitiitia ai le sasaʻaina o vaega i le taimi o le taʻamilosaga faʻavevela/faʻamālūlūina. O se foliga e le tutusa, poʻo ni pu i totonu o le fausaga o le foliga, o le a faʻaauau pea ona malepe i le taimi o le faʻagaioiga ma o lea e maua ai se puna mautu o vaega i totonu o le potu. O le lelei o le ufiufi o se isi foi manaʻoga taua. O le tele o susceptors maualuluga e faʻaaogaina le ufiufi SiC o se vaega puipuia. E tatau ona pipii lelei le ufiufi i le mea autu ma e tatau ona tatalia le faʻagaioiga umi. O le le lelei o le pipii ma le de-lamination o le a faʻaalia saʻo ai le graphite autu i le siosiomaga faigata o le tali atu. E masani ona tatou vaʻaia lenei mea i faʻaoga moni: mo se faʻataʻitaʻiga, o se wafer fab o loʻo faʻagaoioia mo se taimi umi o le gaosiga o le a matauina ai le fua faatatau o le faaletonu e alu aʻe pea pe a uma le selau o taʻamilosaga. O le siakiina o le susceptor o le a faʻaalia ai sina ofuina o le ufiufi ma le soloia o pito. O le suia poʻo le suia o le vaega o le a toe faʻafoʻi mai ai le fua faatatau o le faaletonu i se tulaga taliaina. O le filifilia o mea saʻo e le gata i le faʻatinoga muamua o vaega, ae o le mautu o le mea i taʻamilosaga faifai pea.

A'afiaga o le Fausaga o le Saito i le Mausali o le Vevela i Faiga AIXTRON G10

O le fausaga o fatu o vaega o le graphite i totonu o le SiC vevela maualuga Epitaxy tuputupu aʻe O le faiga, e pei o le AIXTRON G10, e matua aʻafia ai le mautu o le vevela. E fesoʻotaʻi lea ma suiga o le tele, le taofia o foliga, ma le tali atu i le taamilosaga o le vevela. O le graphite e le o se mea mautu e tasi. E aofia ai le tele o crystallites poʻo fatu. Atonu e eseese faʻatulagaga o crystallites taʻitasi. A le lelei le puleaina o le tele o fatu i totonu o le vaega graphite, e tulaʻi mai ai le tufatufaina atu o le vevela e le tutusa. E vevela ma malulu vaega o le vaega i ni fua faatatau eseese. O lenei mea e mafua ai le atuatuvale i totonu i se tulaga laʻititi. I le aluga o taimi, o lenei atuatuvale i totonu e mafua ai le piʻo poʻo le faʻaleagaina o vaega e pei o le susceptor poʻo le wafer carrier. E faigofie ona iloa lenei faiga i le taimi o le gaosiga. E masani ona aliali mai pe a faʻagaoioia le laina wafer i le vevela maualuga. E amata ona seʻe le lelei o le wafer pe a uma le selau o taamilosaga vevela. E faʻateleina suiga i le mafiafia, ma e amata ona aliali mai ni faʻaletonu o pito i taimi uma. A uma ona suʻesuʻeina nei vaega e masani ona i ai faʻailoga o le piʻo poʻo le vaivai o meafaitino. O fausaga lelei o fatu ma le tufatufaina atu o crystallite faʻatonutonu o le a sili atu le mautu o le vevela nai lo fatu mafiafia poʻo fausaga faʻafuaseʻi. O le a iʻu ai i le sili atu ona tutusa o le fesiitaiga o le vevela ma faʻaitiitia ai tulaga atuatuvale i le lotoifale. Faatasi ai ma se fausaga talafeagai o le fatu, o le a tete'e atu vaega i le pi'o e tusa lava pe silia ma le selau o taamilosaga vevela. O fausaga mafiafia po'o fausaga o fatu e le lelei le tufatufaina e mafua ai ni vaega vaivai i totonu o le vaega, e mafai ai ona malepelepe ma iu ai ina fa'asa'olotoina vaega i totonu o le potu. O le isi mataupu taua e mafaufau i ai o le tete'e atu i le te'i vevela. E iai ni vaega e o'o ai le vaega i ni suiga tetele o le vevela e pei o le utaina i totonu o le reactor po'o le aveeseina. Afai e iai ni tuaoi vaivai i le va o fatu, e ono tupu ai ni malepelepe laiti i luga o laina o fatu. E ui e le masani ona mafua ai le faaletonu o se vaega, ae e mafai ai ona tupu nei vaivaiga i le meafaitino, ma mafua ai ona i'u i fa'afitauli o le fa'atuatuaina i le lumana'i. O le tele o fab e siaki le olaga atoa o le vaega e ala i itula e fa'aaogaina, ma le aofa'i o taamilosaga vevela ma le togafitiga atoa o le vevela. O vaega e lelei le fausaga o fatu e umi atu le ola, ma sili atu ona tutusa taunuuga i le aluga o taimi.

Fa'aitiitia o le Fa'aleagaina o U'amea i Vaega o le Graphite Mama Maualuga

O se tasi o faʻafitauli "e le o vaaia" ae taua i soʻo se vaega o le graphite, e aofia ai le faiga o le epitaxy SiC, o le faʻaleagaina lea o uʻamea. E oʻo lava i ni nai mea laiti o uʻamea i totonu o se vaega o le graphite e mafai ona sosolo atu i totonu o le faiga ma avea ma puna o ni faʻaletonu e faigata ona suʻeina i totonu o se reactor epitaxy SiC e pei o le AIXTRON G10. O ia uʻamea e masani ona afua mai i mea mata poʻo laʻasaga eseese o le faʻagasologa e aofia ai i le gaosiga o le vaega o le graphite. O elemene e pei o le Uʻamea, Nickel, Calcium ma le Sodium e masani ona maua ma e tumau pea i totonu o le tele o le graphite i le vevela o le potu, peitaʻi, i le vevela maualuga o le faʻagasologa e faʻaaogaina i le epitaxy SiC, o nei elemene e ono mafai ona feaveaʻi. O nei uʻamea laiti e mafai ona iu lava ina aveese le kasa pe siitia atu i luga o le fogaeleele i le taimi o taamilosaga faʻavevela/faʻamālūlūina faifai pea i le sone vevela, o le susceptor poʻo le wafer carrier lava ia. O se tulaga masani e faʻapenei: o se fab e amata se vaega gaosiga e faʻaaoga ai vaega graphite fou. O muamua ni nai wafer e lelei ma e leai ni faʻaletonu, ae a maeʻa se vaitaimi patino, e amata ona aliali mai ni faʻaletonu laiti. E masani lava o ni lua laiti, faʻaletonu faʻafuaseʻi, poʻo ni mea tutupu e le mafai ona faʻamatalaina. E faigofie ona masalomia sese se tafega sese o le kesi po o se mea ua faaleagaina i le taimi o le faamamaina o le potu. Ae o le auiliiliga auiliili e masani ona taitai atu ai i le faasaolotoina malie o metala mai vaega o le karapite. O le puleaina o le mama o le karapite o se tasi lea o ki autu. Mo vaega taua, o le karapite ua faamamaina i le vevela maualuga ma le maualalo o le lefulefu e sili ona lelei i taimi uma. O lenei laasaga faamamaina e aveese ai le tele o toega o metala. O lea karapite e mafai ona taofia ai elemene mo se taimi umi e tusa lava pe i lalo o taamilosaga faavevela/faamālūlūina faifai pea. O le siakiina o vaega o le karapite e taua tele foi i nisi o fale gaosi. O le tofotofoina o vaega o le karapite i metotia e pei o le ICP-OES po o le XRF e mafai ona puipuia ai le faaaogaina o vaega ua faaleagaina. Atonu foi e taofia ai le fefiloi o vaega mai punaoa eseese i totonu o le faagasologa lava e tasi. O ufiufi e pei o le SiC po o le TaC e fesoasoani foi e foia le faafitauli e ala i le avea o se pa puipui i le va o le vaega o le karapite ma le siosiomaga o le faagasologa. Pe afai o le ufiufi ua lelei ona teuina ma pipii i le mea o loo i lalo o le karapite, o le a faaitiitia ai le fesootaiga o le vaega o le karapite ma le siosiomaga o le faagasologa. O le mea mulimuli ae le itiiti ifo o le taulimaina ma le teuina o vaega o le karapite. E mafai ona faaleagaina vaega o le karapite i le taimi o le taulimaina i totigilima palapala, meafaigaluega po o le teuina i luga o se fata e le mama. E mafai ona oo atu lenei mea ua faaleagaina i luga i totonu o le ogaumu i le taimi o le taamilosaga o le faavevela. Ina ia faaitiitia le faaleagaina o uʻamea i vaega o le karapite, o se aofaiga lea o taumafaiga laiti e tele. E manaomia se mea e maualuga le mama faatasi ai ma le faiga lelei o le taulimaina ma le pulea lelei o le faagasologa.

Aiseā e Mana'omia ai e Veeco EPIK Systems ni Mea Fa'a-Graphite e Maualalo le Porosity?

O vaega o le graphite i totonu o le fa'avae o le Veeco EPIK Systems e ui i se tasi o tulaga sili ona faigata o le fa'agasologa i le gaosiga o semiconductor. O tulaga o le vevela maualuga, kemisi kesi malolosi ma ta'amilosaga umi o le fa'agasologa e o'o i ai nei vaega. O le graphite e matua maualalo le porosity e taua tele mo le tausia o le mama ma le tulaga lelei o le SiC epitaxy. O le porosity e fa'atatau i pu laiti i totonu o lo'o i totonu o le tino o le graphite lava ia. E ui lava i se foliga lamolemole atoatoa, ae mafai ona i ai pu i totonu e maileia ai kasa o le fa'agasologa, toega ma kemisi fa'amama. O le porosity maualuga o lona uiga o le tele o le voluma i totonu mo le maileia, lea a mae'a ona fa'aalia i le vevela maualuga, e mafai ona fa'agesegese ona aveese le kasa o mea. O lenei fa'amamāina e le o taimi uma e sa'o ma e ono o'o atu ai i le pa, ma faigata ai ona pulea le fa'agasologa. I le SiC epitaxy, e matua leaga lava lenei mea. A fa'asa'olotoina kasa mai le tino o le graphite e mafai ona tu'ufa'atasia i totonu o le tafe o le kasa i totonu o le potu epitaxy, ma fesoasoani ai i ni vaega e le mana'omia. O le a maua e vaega ni o latou ala i luga o le fogāeleele o le wafer, ma aʻafia ai le tuputupu aʻe o le tioata ma e mafai ona oʻo atu ai i ni faʻaletonu e leʻi mafaufauina e pei o ni lua faʻafuaseʻi, faʻaleagaina o le fogāeleele poʻo ni suiga faʻalotoifale i le mafiafia o le wafer. O se tulaga masani e feagai ma i totonu o auala gaosiga lea e maua ai e se fab mama ni vaega fou o le graphite mo se faiga EPIK. Atonu e taliaina taunuuga muamua, peitaʻi a toe fai pea taamilosaga o le vevela, e ono oso aʻe le fua faatatau o faʻaletonu ma o le siakiina o le faasologa o le faagasologa e aofia ai laina kesi, valve ma vaega o le faagasologa o le faamamaina atonu e leai se mea e manino mai. E masani ona faʻaalia o le mafuaʻaga o le graphite maualalo le porosity i totonu o le sone maualuga le vevela. O le filifilia o le graphite maualalo tele le porosity e faʻaitiitia lelei ai lenei lamatiaga e ala i le faʻatapulaʻaina o voluma i totonu e mafai ona natia ai meaola ua maileia, ma faʻaitiitia ai le ono mafai ona faʻasaʻolotoina faʻafuaseʻi le kesi pe a faʻavevela. E fesoʻotaʻi foʻi ma le lelei o le faʻamasini. O le fausaga mafiafia o le graphite maualalo tele le porosity e masani ona ofoina atu le faʻateleina o le teteʻe atu i le malepe aʻo faia e le graphite le taamilosaga o le vevela faifai pea. E le gata i lea, o fogāeleele maualalo le porosity e faʻaleleia atili ai le faʻaleleia o le ufiufi. A ufiufi le SiC poʻo isi mea e le mafai ona teteʻe i luga o nei fogāeleele graphite, latou te pipii lelei i se fogāeleele e itiiti le porosity. E foliga mai o le mafuaʻaga lea o le faʻateleina o le vavalalata o le fusifusia i le va o le mea ua ufiufi ma le graphite, lea e faʻaleleia atili ai le tumau ma le umi o le ola o mea ufiufi ma lo latou gafatia e sae pe malepe. I le iuga, o le filifilia o le graphite e matua maualalo le porosity i se tulaga faʻatulagaina i aso taʻitasi, e ui o se meatotino o meafaitino, e maua ai le aoga tuusaʻo i le ausiaina o le wafer mautu, mama, ma mafai ona vaʻaia i totonu o faiga faʻagasologa SiC epitaxy maualuga.