SiC Cantilever Paddles

Ⅰ. Foe Fa'apalapala SiC-Mama maualuga mo le Taulimaina o Wafer Sa'o

SiC Cantilever Paddles o vaega taua ia e faʻaaogaina i masini faʻafefeteina mo le tagofiaina o wafers i le taimi o le epitaxy, faʻasalalau, ma faʻamaʻi faʻamaʻi i le gaosiga o semiconductor. O latou uiga fa'apitoa fa'amama ma fa'ainisinia e fa'aigoa lelei mo si'osi'omaga maualuga-vevela ma fa'a'a'a i totonu o potu mama.

Ⅱ. Oloa Va'aiga & Fa'amanuiaga Fa'atino

1. Meatotino Fa'apitoa mo Talosaga Maualuluga

Semixlab's SiC Cantilever Paddles o loʻo gaosia mai le mama maualuga, faʻasalaina silicon carbide (R-SiC) poʻo le CVD SiC coatings, e maua ai le lelei tele o le vevela (e oʻo atu i le 120 W / m · K), faʻalauteleina le vevela (~ 4.0 x 10⁻⁶ / K), ma le mataʻina o le teteʻe i le pala ma le vevela. O nei mea totino e fa'amautinoaina le mautu o le wafer lagolago i le taimi o le maualuga o le vevela, fa'aitiitia le fa'aleagaina o le wafer po'o le fa'aleagaina.

2. Tulaga Maualuluga Maumau ma Mafolafola

Fa'atasi ai ma le la'ititi o le taua e o'o lava i le vevela e sili atu i le 1400°C, o le mamanu o le cantilever e fa'amautinoa ai le tu'uina ma le fa'aliliuina o fa'ameamea, lea e taua mo le tutusa o le epitaxial layer. O le maualalo o le mamafa ma le maualuga o le malo o le SiC e faʻaleleia ai le faʻaogaina o le faiga ma le tali atu o le vevela i le faʻavaveina o le vevela.

3. Potu Mama-Vaega Fa'amama

Fa'afetai i le mafiafia ma lamolemole SiC fa'amae'a, foe Semixlab fa'aitiitia le fa'atupuina o mea iti ma le gasese. E taua tele lenei mea i siosiomaga e manaʻomia Vasega 1 poʻo ISO 14644-1 Vasega 2 tulaga mama.

4. Fa'atulagaina mo Epitaxial, Diffusion, ma CVD Furnace

O matou SiC Cantilever Paddles o loʻo faʻaaogaina lautele i le MOCVD, LPCVD, ma faʻamaʻi ogaumu faʻamaʻi, e fetaui ma taʻutaʻua meafaigaluega e pei ole ASM, TEL, ma Veeco. O lo'o fa'ainisinia mo le tutusa lelei o le vevela ma le fa'ainisinia sa'o, fesoasoani e fa'amautinoa le maualuga o le fua ma le fa'aitiitia o suiga ole faagasologa.

Ⅲ. Aisea e Filifili ai Semixlab?

Matou te tuʻuina atu auaunaga faʻainisinia faʻapitoa, e aofia ai:

● Fa'asologa o oloa mo le tele, fausaga, ma meafaitino togi

● Fa'apipi'i fa'alelei mo tete'e vevela ma vaila'au

● Fa'ata'ita'iga vave ma fa'ata'ita'iga la'ititi la'ititi

● faufautua faʻapitoa ma faʻamaonia mamanu

I le avea ai ma taʻutaʻua Saina gaosi oloa ma fale gaosi oloa SiC Cantilever Paddles, Semixlab e faʻamalosia le tuʻuina atu o tekinolosi faʻapitoa ma fofo oloa. Pe e te manaʻo e faʻamalieina le faʻaogaina o le vevela o loʻo i ai nei, faʻatau ni vaega e sui tulaga maualuga, pe faʻapipiʻi faʻatasi ni fofo SiC faʻapitoa, Semixlab o le a tuʻuina atu ia te oe le lagolago faʻapitoa ma le tuʻuina atu.

● MOCVD epitaxy wafer ave

● Oxidation ma diffusion ogaumu foe lima

● Faiga fa'apipi'i i mea faigaluega LPCVD/CVD

● O lima lagolago susceptor fa'apitoa mo le tuputupu a'e semiconductor fa'aopoopo