SiC fa'aola sima

I le gaosiga o semiconductor alualu i luma, o le SiC Ceramic Membrane o loʻo avea o se vaega multifunctional e aʻafia saʻo ai le faʻamautuina o le faʻagasologa, le tutusa o le wafer, ma le faʻatinoga atoa o fua. I totonu o le CVD, MOCVD, ma le PECVD faiga, e galue o se fesoʻotaʻiga taua i le va o kesi gaioiga ma le siosiomaga faʻaalia, faʻamautinoaina le pulea lelei o le tafe, paleni vevela, ma le taofiofia o le faʻaleagaina.

E ala i lona fausaga sili ona toniga porous, o le SiC membrane e faʻalauiloaina le laminar ma tufatufaina tutusa le tuʻuina atu o kesi i luga o le meaʻai. Ole fa'ato'aga lea e fa'aitiitiina ai suiga fa'apitonu'u ile fa'atonuga muamua, ma fa'asilisiliina ai le mafiafia o ata tifaga ma le fa'atasiga fa'atasi i le taimi o le epitaxial po'o le dielectric deposition. I le taimi lava e tasi, o le fausaga o pore lelei o le membrane e galue e pei o se faamama maaleale maualuga vevela, puʻeina condensates, carbon toega, ma submicron particulates aʻo leʻi oʻo atu i le sone wafer malosi-o se mea taua i le faʻaitiitia o le mamafa o le faaletonu ma le faatumauina o le maualuga o le masini.

I tua atu o le tafe ma le faamamaina, o le SiC ceramic matrix e maua ai se pa puipui vevela ma vailaʻau i totonu o le potu faʻagasologa. E tu'u'ese'ese vaega ma'ale'ale mai meaola fa'afoliga, fa'aitiitia le fa'aleagaina i tua, ma fa'asaoina le mama o potu i taimi fa'aumiumi o ta'amilosaga o gaosiga. I vaega fa'asuavai, e mafai ona fa'aogaina le tekonolosi o le membrane e fa'amautu ai le mamafa ma maileia mea o lo'o totoe, e saofagā ai i laina fa'amama fa'amama ma le umi o le tausiga.

E ala i le tuʻufaʻatasia o nei galuega i totonu o se vaega umi e tasi, o le SiC Ceramic Membrane e le gata e faʻaleleia ai le faʻaogaina o le CVD ma le MOCVD reactors ae mafai ai foi ona sili atu le mautu ma toe faʻaleleia le siosiomaga-o se tasi e fetaui ma le mama atoatoa ma le faʻatinoina o manaʻoga o le gaosiga o le semiconductor e sosoo ai.

E fa'afefea ona fai le SiC ceramic membrane