SiC Ceramic

O le tele o taimi e faʻaaogaina ai keramika SiC i masini semiconductor, ona e sili atu ona lelei lo latou tumau i tulaga faigata. A maualuga le vevela pe sili atu ona malosi le faagasologa, e mafai e mea e pei o le quartz poʻo le silicon ona amata ona faʻaalia ni tapulaʻa, ma o le mea tonu lava lea e aoga ai le SiC. I faiga o le ogaumu e pei o le oxidation poʻo le diffusion, o vaega e pei o vaʻa wafer poʻo foe e faia mai le SiC e masani ona umi le tumau. Latou te tausia lo latou foliga ma e le aumaia ai le tele o mea leaga, tusa lava pe a uma ona faʻaaogaina mo se taimi umi. E masani ona sui tagata mai le quartz mo lenei mafuaʻaga, aemaise lava pe a tele naua le tausiga.

Mo le etching, e masani ona filifilia le SiC ona e umi atu lona ola i le plasma. O le eseesega o le olaga atoa pe a faatusatusa i vaega o le silicon e matauina i le tele o faatulagaga, e ui lava e faalagolago lava i le faagasologa tonu. E fesoasoani foi teisi i le puleaina o vaega, lea e sili atu ona maaleale pe a faaitiitia nodes. O le ae vaaia foi le SiC o loo faaaogaina o ni susceptors i le MOCVD po o le CVD. I na tulaga, e le tele se mea e faatatau i le "malosi" ae sili atu le taua i le faatumauina o le mautu o le amioga o le vevela. I tua atu o lena, e aliali mai i vaega o le potu e pei o liners po o showerheads, ma o nisi taimi i le taulimaina o vaega foi.