Tausiga o Veeco Epitaxy mo se Vaega e Ufiufi i le SiC mo se Taimi Umi

I totonu o se masini fai sipa a Veeco, Cvd sic coating O vaega e masani ona aafia i le vevela, plasma ma le tafe o le kesi i taimi uma e fa'agaoioi ai. O lenei fa'alavelave e fa'asolosolo ona suia ai le fogāeleele o vaega i le aluga o taimi e tusa lava pe o lo'o lelei pea le va'ai. O le tele o fale gaosi oloa na latou iloa o suiga laiti i le foliga vaaia o le ufiufi, e mafua ai ona tele le palapala efuefu, suiga o le vevela ma le fa'ateleina o le fa'amamāina o le masini. Na iloa e se laina gaosi oloa e ala i le suia o le taimi e fufulu ai vaega na puipuia ai le vave ona ofuina o mea e feavea'i ai, ma mafua ai ona sili atu le mautu o le fa'agaoioia mo se taimi umi. I le fa'atinoina o masaniga sa'o o le tausiga, CVD TaC ma Cvd sic O vaega ua ufiufiina o se vaega e faʻatuatuaina ma umi le tumau e faʻamautinoa ai le mautu o le masini ma le tutusa o taunuuga.

Fautuaga mo le Tausiga Puipuia mo Meafaigaluega Veeco EPIK Epitaxy

O se olaga lelei ma umi mo masini Veeco e faalagolago tele i mea laiti e te faia i taimi uma nai lo o ni toe faaleleia tetele. E tele faaletonu o vali e tutupu malie lava ma o le mafai ona matauina faailoga lapatai e tele sona aafiaga. O le faamamaina ma le siakiina o vaega ma liners i taimi uma pe a uma ona faaaoga se aofaiga patino o se masaniga e sili atu ona aoga nai lo le faatali seia faaletonu vaega.

So'o se eseesega itiiti i le lagona o le fogā'ele'ele po'o se suiga o le lanu e fa'ailoa mai ai se vali ua soona fa'aaogaina. Na feagai se tasi o fale ma fa'afitauli i le vevela ona o le le faia o se siaki masani o vaega ma laina ma na mafai ona fa'asa'oina nei fa'afitauli i le vevela e ala i le toe fa'amamāina ma le toe fa'alaugatasia.

E tāua fo'i le auala e fa'amamā ai vaega. O vaila'au malolosi po'o vaila'au fa'amamā ma le fa'amamāina tele o le a vave ai ona fa'aleagaina le vali. O faiga fa'amamā mālū ma sa'o e sili atu ona aoga aemaise lava i vaega e fa'agaoioia i le vevela maualuga. O nisi tagata faigaluega e masani ona fa'aogaina ni vaila'au fa'amamā mālū pe a lelei le fa'agaoioia o le masini ma fa'atuai le fa'agasologa o le fa'amamāina loloto se'ia o'o ina matuā mana'omia.

E mafai ona avea le tafe o le kesi ma se isi faiga tausiga ua galo ma e ui e foliga mai e le taua, o le tafe le paleni o le kesi o le a iʻu ai i ni nofoaga vevela e faaleagaina ai le ufiufi mai vaega. O le siakiina vave o le masini aʻo leʻi amataina ma ina ua maeʻa ona faʻaaogaina o le a puipuia ai ia faaletonu. E le tatau ona faatelevaveina vaega o le malulu. O se vaega e leʻi malulu lelei o le a faʻatupuina ai le mamafa i le va o le meafaitino o le vaega ma le ufiufi. O le faʻaumiumiina o se vaega o le malulu i ni nai minute faaopoopo i taimi o faʻaaogaina pisi tele na maua e puipuia ai ni māvaevae laiti i vaega i le tasi fale.

E matuā aogā fo'i le tausia o fa'amaumauga o matauga, i'uga, ma amioga i le va'aia o le fa'aletonu o se vaega ona o le malepe o le ufiufi. Faatasi ai ma le tautino atu i le tausiga masani, e itiiti ai le fa'aletonu tele o le masini ma e umi ai le ola o vaega.

E Fa'apefea Ona A'afia e Vaega Fa'asao a Veeco le Mausali o le Gaosiga ma le Tutusa o Fa'agasologa

A'o fa'amatua au masini, e fa'asolosolo ona suia le mautu o mea fa'aopoopo. O mea e pei o mama feavea'i, liners ma ipu kesi e foliga mai e faigofie tele ae o lo latou tulaga e mafua tonu lava i le suia o le paleni o le vevela ma le tafe o le kesi. O suiga laiti i le tulaga o se tasi o vaega fa'aopoopo o le a suia ai le auala e sosolo ai le vevela.

Ua matou vaʻaia se tasi o faʻataʻitaʻiga o le faʻaitiitia malie o le fua mai pito i fafo o falaoa falaoa (wafers) lea na muamua mafua mai i le faʻaletonu o meaʻai na faʻaaogaina i le kuka, ae mulimuli ane na maua ai o se faʻaletonu o le vevela e mafua mai i mama ufiufi ua ofuina ona o vaega faʻasao e le lelei le gaosiga. Ina ua toe faʻafoʻi mai vaega lelei, na toe faʻafoʻisia le paleni o le vevela ma toe faʻaleleia oloa uma.

E fa'atatau fo'i le finauga lava lea i vaega o le tafe o le kesi. O le vaega faigofie e pei o le ulu o le ta'ele kesi e mafai ona pi'o teisi pe poloka i se auala e fa'alavelave ai le tafe tutusa o le kesi i totonu o le potu ma o lea e a'afia ai le mafiafia o le ufiufi o le wafer. I se tasi o nofoaga na latou matauina ai o le mafiafia o le wafer o lo'o fesuia'i pea mai le agavale i le taumatau, o le mafua'aga na maua o se ipu kesi ua masaesae ma ua tele naua itula o fa'agaoioia.

O le faʻaaogaina o vaega tutusa i totonu o le masini o le a fesoasoani e puipuia ai lenei ituaiga o suiga. O le faʻaaogaina o vaega e fetaui ma le masini muamua i faʻamatalaga muamua o lona uiga o le a faʻatino pea e le masini le galuega i le auala lava e tasi e pei ona maeʻa ai faʻaleleia taʻitasi. O le teuina ma le taulimaina o vaega faʻasao e taua tele foʻi. O le vaega ua ufiufiina lea ua leva ona tuʻu i totonu o se siosiomaga matala o le fale suʻesuʻe o le a tosina mai ai le pefu.

E mafai e ni vaega laiti i lenei vaega ona vave ona tupu ma avea ma ni faaletonu i le faagasologa o le vevela maualuga. O le tele o falegaosimea o loʻo teuina nei a latou vaega faʻaopoopo uma i totonu o pusa ua faʻamaufaʻailogaina, lea e naʻo le tatalaina seʻia oʻo i le taimi e faʻapipiʻi ai se vaega i totonu o le meafaigaluega.

E tāua fo'i le fa'atulagaina o taimi e fa'aaogā ai masini fa'aopoopo - afai e tuai tele ona fa'aaogā ma e ono suia ai taunuuga, ae afai e vave tele ona fa'aaogā ma e maumau ai tupe. E mafai ona ausia se paleni lelei e fa'atatau i itula faigaluega, ma siaki vave.

Auala Fa'amamā e Fa'aitiitia ai le Ofu i Vaega ua Ufiufi i le CVD SiC

O le paleni o nei vaega ua ufiufi mo le faamamaina e taua tele i lenei mea. E tatau ona e aveese mea o totoe a'o tausia pea lau ufiufi ia lamolemole ma lelei. Afai e matua'i ma'a'a le faamamaina, e vave ona mou atu le vaega, afai e matua'i vaivai tele e masani lava ona faaputuputu otaota i se tulaga e fa'alavelave ai ma fa'aleagaina ai lau ta'avale.

O le a faasolosolo malie ona ufitia lau vaega i ni vaega o vailaʻau o totoe i le aluga o taimi e pei o se ata manifinifi o toega i taimi o le vevela. E ui o se mea masani lea e tupu, ae e tupu le faʻafitauli pe a e amata ona aveese le ufiufi mai le vaega.

O le laasaga muamua i se faiga saogalemu o le faamamaina lea i le mago. O le faamamaina i le vevela ma le kesi e mafai ai ona aveese se otaota vaivai ua faaputuina e aunoa ma se mea e olo ai, lea e mafai ona avea ma fofo lelei i le faaputuina o otaota vaivai e ono i ai pe a uma ni nai taimi puupuu ma ni nai mea e faaputuina.

Mo so'o se fa'amamāina o vai, e sili atu le fa'asusu mālū i vaila'au nai lo le fa'asusu 'aisa. E tele 'au e fa'aaogā vaila'au fa'asusu ma e itiiti le taimi e fa'asusu ai. Na lipotia mai e se tasi o nofoaga o le fa'apu'upu'uina o taimi e fa'asusu ai e na'o sina mea itiiti lava e fa'aumiumi ai le ola o le vaega mo ni masina ona e le mou atu le pupula o le vali.

O le auala faaletino o se isi vaega taua o le faasaoina o le vali. O le oloina o pa'u, pulumu malo, po'o le fa'asusuina o le vai e mafai ona fa'atupuina ai ni maosi laiti i luga o le vali lea e i'u ai ina avea ma puna o le pefu i le taimi o le valiina. E taua tele fo'i le fufuluina lelei ma le fa'amagoina; o toega o vaila'au fa'amama o totoe o le a 'aina ai lau vali i le vevela tele.

E tatau ona faia lenei mea i le fufuluina i le vai mamā ma fa'amamago tutusa. O se tasi o auala e fa'aaogaina e nisi la'au e foia ai lenei fa'afitauli o le vaevaeina lea o a latou faiga fa'amama e fa'atatau i le maualuga o le ofuina; o la'au e mama e fa'aaogaina le fa'amama mālū ma la'au e tele naua e fa'aaogaina le fa'amama malosi e 'alo 'ese ai mai le fa'amama lelei ma le le mana'omia.

Fa'alauteleina o le Olaga Atoa o le Susceptor e ala i le Puleaina Lelei o le Vevela

E tele galuega mamafa e faia e avefe'au mo nei faiga. O nei masini o lo'o i totonu tonu lava o le vaega e sili ona vevela, e fa'apipi'i ai apa ma taumafai e taofi le vevela ia tutusa lelei. Mo le tele o nei vaega, o le tele o le ofuina e mafua mai i le atuatuvale o le vevela, ae le ona o le taulimaina po'o le fa'amamaina. O tulaga mautu o le vevela o le mea autu lea mo le fa'aleleia atili o le umi e ola ai.

O suiga vave po'o le lē tutusa o le vevela e mafua ai le fa'alauteleina lē tutusa o le mea o lo'o i lalo ma le ufiufi. O lenei mea e mafua ai ni fa'alavelave tetele i totonu. Na matauina e se tasi o fale gaosi oloa ni māvaevae vave i autafa, ona o le saoasaoa tele o le vevela o le taeao ona o le mamafa o galuega, ma na o le puleaina o le taimi e fa'avevela ai.

O le fa'agesegese o le taimi e fa'avevela ai/fa'amālūlū ai na ave'esea ai sina fa'alavelave fa'avevela i le vaega. O lenei suiga la'ititi e itiiti sona a'afiaga i lo latou gafatia, ae fa'alauteleina ai le umi e ola ai luga. E o'o lava i le sosolo o le vevela e iai fo'i sona sao. Afai e vevela pea ni vaega patino o se mea e feavea'i ai, o nei vaega o le a vave ona pala ma fa'aleagaina ai taunuuga o le uamea a'o le'i iloa atu se fa'aleagaina o luga.

E mafai e su'esu'ega masani o le vevela ona iloa faigofie ai fa'afitauli o le vevela e le tutusa. E toetoe lava o nei mea e mafua mai i ni nai mea sese laiti, le tafe tutusa o le kesi po'o le leaga o le vevela. E taua tele fo'i le puleaina o le taimi e fa'amālūlū ai. O le aveeseina o vaega pe a uma se ta'amilosaga vevela vave tele o le a i'u ai i le tosoina o le ufiufi mai le mea o lo'o i lalo. O le fa'agesegese o le taimi e fa'amālūlū ai e fa'aitiitia ai le tele o le mamafa i totonu. O nisi 'au gaosi oloa e mafai ona fa'alauteleina taimi e fa'amālūlū ai na'o taimi e tele ai galuega.

E laʻititi le tau o se taimi faʻaopoopo e faʻamālūlū ai le tele o vaega, ae e faʻaopoopo tele i lo latou umi e ola ai. O le isi fuafuaga aoga e faʻaumiumi ai le ola o le avega, ma isi vaega, o le ʻalofia lea o suiga atoa o le vevela o le malosi pe a mafai. O le faʻagaoioia i le vevela feololo i le taimi e taofi ai nai lo le toe faʻafoʻi vave o le masini i le vevela mo ni taofi laiti o le a faʻaitiitia ai le teʻi vevela.

Iloaina o Mea ua Fa'aleagaina i Luga A'o Le'i Tupu le Fa'aleagaina o Mea Fa'apalapala

O lea la, e masani ona amata filemu le faaleagaina o le luga, a o lei mafua ai se faafitauli tele o le pefu i totonu o le masini. O le faigata, i le amataga lava, o le a foliga mai e le afaina ia te oe le ofuina, ae o loo faalavelaveina pea le mautu o lau faagasologa i se auala filemu. O le faailoilo muamua o le leiloa lea o le vali (po o le pupula o le luga).

O se vali lelei e foliga lamolemole ma pupula i lalo o le malamalama, ae o le amataga o le vali e foliga mai e le o manino pe iai ni togitogi pupula e le tutusa i luga. O se tasi o le aufaigaluega i le laina na vaaia ni mama e pei o le susu i se tasi o vaega ina ua uma ona faamamaina ma e lei popole i ai seia oo i le 2 vaiaso mulimuli ane, o le aofaiga o le pefu i lena lava nofoaga na matua faateleina lava.

O le lē tutusa o le faaputuputuga e mafai ona avea ma se isi faailoilo. O le palapala o totoe e masani ona faaputuputu atili i se vaega patino o se isi faailoilo lea, o loo taʻu atu ai ia te oe ua amata ona maʻaʻa lenei vaega. O lona uiga e lē vave ona paʻuʻū ese le faaputuputuga, e le pei o se fogaeleele lelei ma lamolemole.

E mafai fo'i e suiga o le vevela ona ta'u atu se mea ia te oe; o sina suiga itiiti i le vevela tutusa i luga o le apa e ono fa'aalia ai ua le toe aoga lelei le matafaioi a le fogā'ele'ele, a'o le'i leva ona e iloa lelei se fa'aleagaina.

Matou te lē manaʻo e paʻi i vaega (auā e mautinoa lava e ono faʻatupuina ai le efuefu), ae e mafai ona e siakiina na vaega i se auala lē tuusaʻo. O se faʻataʻitaʻiga, afai e umi tele se taimi e faʻamamāina ai se vaega patino e ala i lau faiga masani, o lona uiga ua suia le fogāeleele ma ua lē tutusa nei.

O le mata'ituina o le aofa'i o le pefu i totonu o le masini o se tasi lea o puipuiga sili ona fa'atuatuaina e mafai ona e fa'atinoina, e o'o lava i le fa'ateleina malie o le pefu e le tatau ona fa'atagaina. O se tasi vaega na latou iloa le fa'aletonu o le liner i le amataga ona o le matauina o se aga'i malie tele i luga i ni nai ta'avale nai lo le fa'atali i se fa'ailo leotele o se masini ua malepe.

O le teuina ma le taulimaina o vaega o se mea taua tele auā o sina maosi laitiiti i luga o se mea malo e mafai ona mafua ai le tele o le pefu pe a fa'aaogaina i le vevela. O le mafua'aga lea e te va'aia ai le tele o masini o lo'o i ai ni fata fa'apitoa e vaivai mo le teuina o vaega.