E tele masini gaosi LPE e fa'aaogaina mama ua ufiufi i le TaC. O lenei ufiufi e fesoasoani e tausia se siosiomaga mautu ma mamā i totonu o le masini. A'o fa'a'ofuina le ufiufi, Cvd sic coating pe a malepe ese ni fasi mea, e mafai e ni fasi mea laiti ona ulu atu i totonu o le masini, ma faaleagaina ai falaoa manifinifi ma faaitiitia ai le lelei o le oloa ua maeʻa.
Ufiufi TaC ma Cvd sic E lē vave ona tupu le faʻaleagaina ae e tupu i le tele o taamilosaga e aofia ai le faʻavevela, faʻamālūlūina, ma taamilosaga faʻamamāina. I se tausiga masani, e ono iloa e tagata faigaluega ua lē toe lamolemole foliga o nisi vaega, ua māvaevae ni vaega laiti, pe ua malepelepe foʻi ni fasi vaega mai pito. O le iloaina o māfuaʻaga o lenei ofuina e mafai ona faʻalauteleina ai le umi e ola ai vaega o le masini.

Mafua'aga Autū o le Māvaevae o Pito i Mama Graphite ua Ufiufi i le CVD TaC
E masani ona amata mai māvaevae o pito i ni tamaʻi mea laiti e aliaʻe mai i le aluga o taimi, ona amata lea ona mafolafola le ufi.
O le atuatuvalega o le vevela o se tasi lea o mafuaaga autu. CVD TaC ma e fa'alautele ma mimilo le karapite i ni saoasaoa eseese a'o fa'avevela ma fa'amālūlūina, ma mafua ai ona fevaevaea'i mea e lua i taimi uma e fa'avevela pe fa'amālūlūina ai. O vaega e sili ona vaivai o le ufiufi e masani ona i luga o pito, o lea la o le mea lea e masani ona amata ai ona tupu ni māvaevae.
O le vave fa'avevela ma le fa'amālūlūina e fa'ateteleina ai fa'afitauli o le atuatuvale i le vevela. O masini e fa'agaoioia le tele o taimi e fa'amālūlūina ai e fa'aogaina ai le tele o le atuatuvale i luga o mama ufiufi, ma e tutupu ai ni māvaevae laiti i pito ona fa'ateleina lea pe a uma ona fa'agaoioia.
E mafai fo'i e le fa'amamāina ona vave fa'aleagaina ai le vali. O le fa'amamāina malosi i vaila'au malolosi, po'o le fa'amamāina o le plasma o le a fa'aleagaina ai le fusifusia i le va o le vali TaC ma le graphite substrate, ma iu ai ina fa'avaivaia ai pito ma mafua ai ona māvaevae.
O le le lelei o le taulimaina o se tasi lea o mafuaʻaga masani o mea leaga. O sina pa'ū itiiti i le taimi o felauaiga poʻo le faʻapipiʻiina o mama e mafai ona faʻatupuina ai ni vaega vaivai laiti i pito e le mafai ona vaʻaia, lea e mafai ona iʻu ai i ni māvaevae i le taimi o le faʻavevela/faʻamālūlūina.
O le lelei o le mea e fai ai le karapite e fesoasoani fo'i i le māvaevae. O pu laiti i le karapite, po'o le mafiafia e le tutusa, o le a a'afia ai le auala e pipii ai le ufiufi, ma mafua ai ni vaega e faigata ona malamalama i ai, lea o le a i'u ai ina malepe le ufiufi.
I le tele o tulaga, o le a tupu ai se tuufaatasiga o le sili atu ma le tasi o mea o loʻo i luga.
Le Fetaui o le Fa'alauteleina o le Vevela i Vaega Epitaxial o le LPE (ASM)

O le isi mafuaʻaga autū o le faaletonu o le ufiufi o le thermal expansion mismatch. O se manatu faigofie lava lenei ma o le ufiufi TaC ma le graphite e eseese le aofaʻi e faʻalautele ma faʻapuʻupuʻu ai pe a suia le vevela.
A o faʻateleina le vevela, e faʻalauteleina le graphite e sili atu nai lo le mea e mafai ona tupu e le ufiufi TaC. O le mea lea e iai le faʻalavelave e faʻaputuina i totonu o le mea ona o le ufiufi o le a le faʻalauteleina e fetaui ma lenei tele faʻaopoopo ma a o faʻaitiitia le vevela e faʻaitiitia ai le graphite i le tele nai lo le ufiufi. O lenei mea e toe mafua ai le faʻalavelave i totonu o le mea.
A maeʻa le faitau selau o taamilosaga faʻavevela ma maualuga le mama CVD SiC mea mata O fa'alavelave fa'aputu i mea e lua e fa'aleagaina ai le fusi e fusifusia fa'atasi ai le ufiufi ma le mea fa'apipi'i ma amata ai ona masaesae, māvaevae, pe malepe le ufiufi. O tulimanu ma pito ma'ai e masani ona i ai fa'alavelave tetele ma vave ona le manuia.
Mo se faʻataʻitaʻiga, o le 'au gaosi oloa sa i ai ni mama ufiufi ia na māvaevae i le afa o le umi e masani ai; ina ua siakiina le faiga na latou iloa ai o loʻo vave ona latou faʻamālūlūina mama. I le suia o le faiga o le faʻamālūlūina, na matua faʻateleina ai lo latou umi e ola ai.
O le mafiafia ma le foliga o le ufiufi e iai foʻi sona sao taua i le tulaga o le mamafa e faaputuputu i totonu o le meafaitino; o le mafiafia ma le mamanu o le fogaeleele e le tutusa e mafua ai le faateleina o le tuputupu aʻe o le mamafa.
Ona o nei mea taua, e manaʻomia ai se taamilosaga faʻavevela ma faʻamālūlūina e fai soo faʻatasi ai ma le lelei o le vali ina ia mautinoa ua leaga le vaega.
E Fa'apefea ona A'afia e le Mafiafia o le Ufiufi ia Lamatiaga o le Pa'u'u o le TaC

O le mafiafia o le ufiufi TaC e iai sona aafiaga tele i le umi e ola ai le vaega. E le lava ufiufi manifinifi e puipuia ai le graphite mai le vevela ma vailaʻau. I le aluga o taimi, e tutupu ni lua ma ni faaletonu seʻia oʻo ina sae ese le ufiufi mai le mea sa i lalo. O ufiufi mafiafia e tele le mamafa ua teuina.
O le fa'avevela ma le fa'amālūlūina faifai pea o le a i'u ai ina vavae'ese le ufiufi mai le mea fa'apipi'i, e masani lava i tafatafa o tulimanu ma pito. Peita'i, o le eseesega o le mafiafia e taua tele e pei o le mafiafia masani.
O se ufiufi tutusa ma maualuga teisi atu le mafiafia nai lo le mea e faʻamoemoeina e sili atu le lelei nai lo se ufiufi e le tutusa ae e latalata i le mafiafia averesi e faʻamoemoeina, aua e le tutusa le tufatufaina o le mamafa.
E masani lava o le vali sili ona lelei e pipii lelei ma e masani le mafiafia ma e la'ititi lava le eseesega.
Fuafuaga mo le Toe Faaleleia o Vaega o le CVD ua Faaleagaina e le TaC Coated Epitaxy
E lē manaʻomia ona vave sui vaega ua faaleagaina. E fuafua i le tulaga o le faaleagaina, atonu e lē manaʻomia ona sui le graphite po o le ufiufi.
Afai e le o matuā faaleagaina le karapite, e mafai ona aveese le ufiufi tuai mai le vaega, ae mafai ona toe fa'apipi'i se ufiufi TaC fou (toe ufiufi).
E na'o vaega ua faaleagaina e mafai ona toe faaleleia pe afai e iloa tonu le faaleagaina i se nofoaga patino. O lona uiga o le ufiufi i nei vaega o le a na'o le aveeseina ma toe teuina. O le a mafai ai ona fa'alauteleina le umi e ola ai le vaega e ui lava o lenei metotia e na'o se fofo fa'avaitaimi.
E mafai ona fa'aopoopo nisi mea i nofoaga e tele ai le ofuina (e pei o Pito) auā o nei vaega o le vaega e faigofie ona malepe. O lenei mea e mafai ai ona fa'amalosia pito o le vaega e aunoa ma le ufitia o le vaega atoa.
Peita’i, e lē o taimi uma e talafeagai ai lenei metotia. E masani ona fautuaina le sui o le karapiti ua matuā faaleagaina i ni vaega fou pe afai ua matuā faaleagaina le karapiti, pe afai e tele ni vaega o ufiufi i le vaega ma ua toe faaleleia i ni nai taimi muamua pe ua pisia i le otaota. E tatau i inisinia ona mafaufau i le itu vaaia o le faaleagaina faatasi ai ma se iloiloga o le auala na faaaogaina muamua ai le vaega.
Fa'aitiitia le Tuputupu A'e o Mea Mai Luga Ufi TaC ua Fa'amama
A fa'asolo ina malepe vaega o le TaC, nai lo o ni fasi mea tetele e gaosia, e masani ona fa'asalalauina atu ni vaega laiti. E saoloto nei vaega e feoa'i solo i totonu o le potu ma e ono fa'aputu i luga o apa ma mafua ai se fa'aletonu.
O se metotia lelei e 'alofia ai le fa'aleagaina o le vali, o le vave iloa lea o le fa'aleagaina o le vali. I le taimi o siaki masani, e tatau i tagata faigaluega ona va'ava'ai pe i ai ni vaega e le manino, ni māvaevae laiti, pe si'itia teisi ni vaega laiti o le vali.
O le sui o le vaega i le taimi muamua e amata ai le delamination, e mafai ona ʻalofia ai le tuputupu aʻe o ni fasi mea.
O le suiga malie o le vevela e faatumauina ai le mamafa i lau vaega ua pipii ma taofia ai le gau o le fusi ma le malepe o le ufiufi. I lau nofoaga e faamama ai, e tatau ona e taumafai e sui lau faiga faamama pe a matutua au vaega, aua ua matauina o vailaau malolosi ma le plasma e faaleagaina ai mea o luga ma mafua ai ona maaleale le luga lea e faigofie ona malepe ai vaega laiti, o lea taumafai e aua le faaaogaina vaega uma i ni faatulagaga faamama malolosi.
A'o fa'aogaina, e tatau ona e taulimaina ma le fa'aeteete vaega auā o le pa'i la'ititi mai se mea malō a'o feavea'i pe oomiina se mama, o le a mafua ai ona malepe pito ma tu'u ai le pefu. E tatau ona e taulimaina ma le lagolago ma 'aua ne'i pa'i i pito i soo se tau.
O nisi 'au e fa'aogaina fo'i se togafitiga mama i luga pe a uma ona ufiufi e fa'amalosi ai le vaega pito i fafo. E le suia ai le ufiufi autu, ae e mafai ona fesoasoani e fa'amaufa'ailoga ai pu laiti ia semanu e avea ma puna o mea laiti i le taimi o le fa'agaioiga.
I le iuga, o le faʻaitiitia o vaega laiti e le o se fofo tele e tasi ae sili atu i le pulea lelei. O le mautu o le vevela, le faʻamamaina ma le faʻaeteete, ma le vave suia o ufiufi vaivai e galulue faʻatasi. O le taimi lava e amata ai ona faʻaleagaina, o le sini e le gata ina taofia ai, ae ia puipuia foʻi na vaega laiti mai le ulufale atu i le avanoa o le faʻagasologa lea e mafai ona aʻafia ai taʻamilosaga uma o le wafer.
Lisi o Mataupu
- Mafua'aga Autū o le Māvaevae o Pito i Mama Graphite ua Ufiufi i le CVD TaC
- Le Fetaui o le Fa'alauteleina o le Vevela i Vaega Epitaxial o le LPE (ASM)
- E Fa'apefea ona A'afia e le Mafiafia o le Ufiufi ia Lamatiaga o le Pa'u'u o le TaC
- Fuafuaga mo le Toe Faaleleia o Vaega o le CVD ua Faaleagaina e le TaC Coated Epitaxy
- Fa'aitiitia le Tuputupu A'e o Mea Mai Luga Ufi TaC ua Fa'amama

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