Mai le Puleaina o Particle i le Faʻaleleia atili o le Fua i Faʻagasologa o Epitaxy

O ni vaega laiti e pei o ni fasi vaega ninii e mafai ona faʻaleagaina ai fasi falaoa i totonu Epitaxy tuputupu aʻe gaosiga ma o lea e faʻaleagaina ai lau seleselega. E oʻo lava i se vaega e le vaaia i totonu o le reactor e mafai ona mafua ai ni faʻaletonu i luga o le wafer ma lē pasia ai. O le mea lea, o le puleaina o vaega o se laʻasaga taua tele i se oloa mautu ma lelei.

O le tele o fofo i faʻafitauli o vaega laiti e faʻavae i luga o vaega ua gau, faiga le lelei o le faʻamamāina poʻo le taulimaina le lelei o vaega. E mafai ona faia se eseesega tele i le seleselega pe afai e foia le faʻafitauli e ala i le faʻaleleia o nei mea faigofie.

E faʻapefea ona mafua ai e le faigata o le fogāeleele ni faʻafitauli o vaega i le gaosiga o epitaxy

O le faʻafitauli o loʻo iai nei, o le mea maʻaʻa o loʻo faʻasaʻolotoina mai ai ni vaega ninii ona o le faʻagasologaina i le vevela maualuga.

O maosi laiti e mafai ona iai i vaega mo se faʻataʻitaʻiga pe a faʻaauau pea ona faia i le vevela, e mafai ona iu ina avea ma ni māvaevae laiti, ma amata ona feoaʻi ni fasi mea laiti i totonu o le potu e faʻaaogaina ai le vacuum. O nei fasi mea ia e paʻuʻū i luga o apa ma mafua ai ni faʻaletonu.

O le faʻafitauli e masani ona vaʻaia faʻapenei i vaega o le Graphite, o le tulaga lea ua le toe ufiufi lelei ai le graphite ona o le ofuina, a oʻo ina masaesae le ufiufi puipuia, e mafai ona faʻaalia ai le graphite talatala i lalo ma o le a faigofie ai ona toʻesea vaega laiti.

O fogā'ele'ele ma'ale'ale o le a a'afia ai le tafe o le kesi i totonu o le reactor, lea o le a faigofie ai ona mafua ai ona sosolo atu ni vaega ninii i totonu o le vaega o lo'o gaosia ai le kesi.

O siaki masani o le a maua ai ni mea o loʻo i ai i lenei tulaga aʻo leʻi faaleagaina tele, afai e toe valiina pe faʻapulusaina vaega o le a fesoasoani lea e faʻatumauina ai le umi e ola ai vaega. O le faʻaeteete pe a taulimaina vaega i lenei laʻasaga o le a faʻaitiitia ai foʻi le valuvalu e ono avea ma pogai o ni fasi mea mulimuli ane.

O le faasolosolo malie ma le faaeteete o le taamilosaga o le faʻavevela ma le faʻamālūlūina o le a itiiti ai le mamafa i luga o mea vali ma e faʻapea foʻi i le pito i lalo.

O le fa'amautinoaina o lo'o tumau le lamolemole o luga uma, ua fa'aleleia atili ai i le taimi ua tuana'i le tele o ie gaosi wafer i la latou tauiviga ma vaega ninii, ma o lea ua fa'ateleina ai le maua mai o le wafer.

Tekinolosi Fa'a'ofu CVD SiC Fa'alelei mo Potu Reactor Mama

le Cvd sic coating , i le avea ai o se vaega malo ma lamolemole e tete'e atu i vaila'au fa'akemikolo, e puipuia ai vaega ninii e gaosia i le taimi o le fa'agaioiga o le reactor ma o lea e puipuia ai vaega ninii mai le fa'aleagaina o wafers.

I le faiga tuai, o le mafiafia o le ufiufi e le tutusa ma o tulimanu ma vaega faigata e faigofie ona masaesae pe a uma ona faʻavevela, ma faʻatupuina ai ni fasi mea ma faʻaleagaina ai falaoa manifinifi.

Faiga fa'aonaponei o le CVD SiC ma Epitaxial tuputupu aʻe semiconductor Taumafai e maua se ata tifaga tutusa i luga o le fogāeleele e ala i le puleaina ma le fa'aeteete o le vevela ma le tafe o le kesi, ma maua ai se ata tifaga e sili atu ona mautu ma umi ma itiiti le avanoa e ofi ai ma ni vaega laiti. O nisi falegaosimea na maua ni vaega laiti i totonu o le reactor ina ua mae'a ona fa'aleleia le faiga o le ufiufi. E umi atu lo latou ola ufiufi ma e fa'aitiitia vaega laiti i le taimi atoa o le fa'agasologa.

O le lamolemole o le ata tifaga o se tasi foi lea o mea e taua tele mo le puipuia o vaega laiti ma mea leaga. Fa'apupula lelei le fogā'ele'ele o le ata tifaga. O le a fa'aitiitia ai ni pu laiti i luga o le fogā'ele'ele e fa'aputu ai vaega laiti po'o toega. E le gata i lea, o le lamolemole o le fogā'ele'ele ufiufi e mafai foi ona puipuia ai le fa'aputuina o vaega laiti i tafatafa o le vaega o le reactor lea e ono a'afia ai foi le tafe o le kesi ma mafai ona fesoasoani i vaega laiti e te'a ese mai wafers.

E tāua le mata'ituina o le lanu o le ufiufi, le fausaga o le fogāeleele ma le mafiafia. Afai e te iloa se suiga o le lanu, o le a leiloa le uiga o le ata, o le a fa'amata'utia le fogāeleele, ma afai ua manifinifi le mafiafia o le ufiufi, atonu ua o'o i le taimi e sui ai vaega fa'asao.

Togafitiga o le Fogaeleele mo Vaega Epitaxial Maualuga le Fa'atinoga

E matuā tāua tele lenei mea i le faʻateleina o le umi e ola ai le vaega ma faʻaitiitia ai le fausiaina o ni fasi mea. Afai e le saunia lelei le luga, o le a vaivai le pipii o le ufiufi ma e ono malepelepe pe a faʻaaogaina.

E aofia ai le aveeseina o le pefu, suāuu ma faʻailoga o le masini, aʻo leʻi faʻapipiʻiina le ufiufi ma Epitaxial tuputupu aʻe i ic fabrication . E iai fo'i isi sauniuniga fa'aopoopo mo luga. O le fa'agaoioiga o le a i'u ai i se ufiufi sili atu ona lelei, fa'ateleina ai lona tete'e atu i le vevela ma le fa'asolosolo o le fa'aogaina.

E tāua le foliga o le fogāeleele; afai e matuā maʻaʻa tele le fogāeleele, e lē mafai e le ufiufi ona 'pipii lelei', pe matuā lamolemole foʻi ma e vaivai le pipii. A aveese ni vaega mai le gaosiga e tatau ona taulimaina ma le faʻaeteete auā o le efuefu poʻo le suāuu o le a pipii i le fogāeleele mai lima poʻo meafaigaluega.

O nisi laina gaosiga ua foia a latou faafitauli o fasi mea laiti e ala i le taulaʻi atu i le sauniuniga o latou luga, ae o isi e togafitia le luga e faaaoga ai le plasma e faaitiitia ai le faaleagaina o meaola ninii.

Fa'aleleia atili o le Mausali o le Fua i totonu o AIXTRON ma Veeco EPIK Platforms

E tausia le mautu o le fua o le wafer i le mama o le reactor ma ona vaega. O le faʻafitauli sili ona taatele o le tulaga pe a uma ona faʻamamāina. E oʻo lava i sina vaega itiiti o toega e mafai ona malepe i totonu o le potu i le taimi o le faʻagasologa ma faʻatupuina ai ni vaega, ma iu ai ina avea ma ni faʻaletonu o le wafer.

O le faʻafitauli lona lua o le ofuina ma le matua o vaega o le karapite ua ufiufiina. E ui lava e leai se faʻafitauli vaaia i le karapite ua ufiufiina pe a uma le tele o taamilosaga, ae e mafai ona tupu ni māvaevae laiti i lalo o le ufiufi lea o le a maua ai ni vaega laiti i le taimi e faʻaaogaina ai. E mafai ona le tumau le tafe o le kesi pe a matutua ma maʻaʻa luga i le aluga o taimi lea o le a mafua ai ona le tutusa le faʻaputuga pe faʻaputuina vaega laiti i totonu o le vaitafe o le wafer.

I le taumafaiga e faʻaleleia atili ai le mautu, e tele fale gaosi oloa e faʻaaogaina se masini e siaki ai le umi o le ola o vaega. E mafai ona latou iloa le umi o le faʻaaogaina o vaega, fuafua le taimi e manaʻomia ai ona sui le vaega, ma faia ni auala e puipuia ai le lelei o le gaosiga. E ui o le mama e lelei, ae o le faʻamamaina soona malosi e mafai ona faʻaleagaina ai ufiufi puipui ma iʻu ai i le mageso o le luga. I se tulaga lautele, o le tausiga faʻaeteete ma le faʻatulagaina lelei o le suia e mafai ona faʻaleleia atili ai le lelei o le gaosiga o le wafer.

Su'esu'ega o le Fa'aletonu o Vaega o le Graphite Mama Maualuga ua Fa'aleagaina

O vaega o le karapite mama e faia ina ia tatalia le vevela maualuga, ae o se mea leaga e mafai lava ona iʻu ai i le faaleagaina i se taimi umi.

E mafai ona tupu le fa'aleagaina ona o le fa'aleagaina o le pa'i atu i le mea faigaluega. Afai e palapala le meafaigaluega e fa'aaoga ai le karapite, le totigilima po'o le nofoaga e teu ai le karapite, e ono aliali mai le pefu i luga ma a'o fa'agasolo le vevela maualuga o le a tali atu i le karapite. E le gata i lea, a'o fa'agasolo le vevela maualuga i totonu o pu laiti o le karapite o le a tumau pea i totonu. O na vaila'au e mulimuli ane fa'alauteleina ma/pe tali atu ma fa'asa'oloto ai vaega laiti.

O se faʻataʻitaʻiga: I le taimi o le tasi gaosiga, o le fua faatatau o mea sese i luga o le wafer sa faʻateleina pea i le tele o vaiaso. I le siakiina na aliali mai ai le pisia i totonu o laina graphite e fetaui ma le nofoaga o le vaega i luga o le wafer. O le taamilosaga o le vevela e faʻateteleina ai le faʻafitauli. O le vevela ma le malulu taʻitasi e faʻamalosia ai vaega ua pisia. O le graphite mama e masani ona taulimaina lelei lenei mea, ae o vaega ua pisia e faʻalauteleina i ni fua eseese, lea e faʻasolosolo malie ai ona faia ni tamaʻi māvaevae.

E i ai ni nai laasaga aogā e faʻaitiitia ai lenei lamatiaga. O le teuina ma le faʻaeteete i totonu o pusa mamā ma faʻamaufaʻailogaina e fesoasoani e puipuia ai le vave faʻaleagaina. O meafaigaluega e taulimaina e tatau ona faʻapitoa mo vaega e maualuga le mama. I le taimi o le tausiga, o metotia faʻamamā mālū e sili atu le aoga nai lo vailaʻau malolosi poʻo laʻasaga faʻamama, aua o togafitiga malū e mafai ona tatala ai ni pu fou i luga.

E fesoasoani fo'i le mata'ituina o le tala'aga o se vaega. Afai ua tele ni ta'amilosaga po'o ni la'asaga fa'amamāina ua uia e se vaega, e aogā le siakiina ma le toto'a a'o le'i toe fa'aaogaina. O nai suiga laiti i le lanu po'o le foliga o le fogāeleele e mafai ona vave maua ai ni fa'ailoga o le tele o le pisia.

I le aluga o taimi, o le puleaina o nei faʻamatalaga laiti e fesoasoani e taofi ai vaega o le karapite ma faʻaitiitia ai mea e leʻi faʻamoemoeina i totonu o faiga epitaxy.