CVD Tantalum Carbide (TaC) Ufiufi

E masani ona mafaufauina le ufiufiina o le TaC pe a amata ona oʻo atu le SiC i ona tapulaʻa. E masani ona tupu lenei mea i le epitaxy SiC poʻo le tuputupu aʻe o le tioata, lea e sili atu ona manaʻomia ai le vevela ma le siosiomaga o le faagasologa.

Faatasi ai ma se tulaga e matuā maualuga atu o le melting point, e sili atu ona lelei le taulimaina e le TaC o le umi o le vevela maualuga, aemaise lava i siosiomaga e iai le hydrogen poʻo le HCl. I le faʻatinoina, o lenei mea e faia ai se eseesega i faiga e pei o le tuputupu aʻe o le PVT, lea e aʻafia ai le lelei o le crystal i le mautu o le vevela.

O fa'aoga masani e aofia ai mama ta'iala tafe, mea e uu ai fatu, vaega e feso'ota'i ma le ogaumu, ma isi fausaga i totonu o le fanua vevela. O nei vaega e feagai ma tulaga faigata mo se taimi umi, o lea e taua ai le fa'aitiitia o le fa'aleagaina. I nisi fa'atulagaga, o lo'o suia malie e le TaC mea tuai e pei o le pBN, ma e o'o lava i nisi vaega ua ufiufi i le SiC, e ui lava e fa'alagolago pea lea i le tau ma le mamanu o le fa'agasologa.